F60 薄膜厚度测量仪

生产环境的自动测绘

Filmetrics F60-t 系列就像我们的 F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率，但它增加了许多用于生产环境的功能。 这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，以及升级到全自動化晶圆传输的机型。

不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如， F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。

选择Filmetrics的优势

•   桌面式薄膜厚度测量的

•   24小时电话，和在线支持

•   所有系统皆使用直观的标准分析软件

附加特性

•  嵌入式在线诊断方式

•   免费离线分析软件

•  精细的历史数据功能，帮助用户有效存储，重现与绘制测试结果