ICP光谱仪的控制软件：
 

　　软件操作方便、直观，具有定性、半定量、定量分析功能，具有仪器诊断优化功能，软件具有全中文，可根据需要选择切换。报告格式输出格式为pdf、excel，电子档或直接打印，且可以为中文模板。控制软件可以在中文版Windows7下运行、XP下运行。软件带有自动进样器控制接口。
 

　　分析谱线：具有谱线描迹功能、背景扣除功能;曲线拟合：测量方式有峰高、峰面积两种不同选择;
 

　　分析参数：针对不同谱线选择不同积分时间、负高压、扫描步距、衰减值。
 

　　分析参数：每条谱线测量时会自动进行实时波长校正，确保测量峰位准确。
 

　　自动衰减：每条谱线都可以进行自动衰减。
 

　　全自动安全保护功能，仪器通讯和控制采用控制卡，观测位置由软件控制并优化，具有控制蠕动泵转速功能。可以与天瑞AS100自动进样器联合使用，控制样品的切换、清洗、进样等过程。
 

　　仪器诊断软件和网络通讯，数据再处理功能，自动生成测试报告。
 

　　软件具有数据档案管理功能，支持数据的备份、恢复、删除，支持数据的文本格式输出。格式类可选，也可以打印输出。
 

　　ICP光谱仪的分析过程主要分三步，即激发、分光和检测。
 

　　一步：激发光源使试样蒸发汽化，离解或分解为原子状态，原子也可能进一步电离成离子状态。原子及离子在光源中激发发光；
 

　　二步：利用分光器把光源发射的光色散为按波长排列的光谱；
 

　　三步：利用光电器件检测光谱，按所测得的光谱波长对试样进行定性分析，或按发射光强度进行定量分析。