质谱气体分析仪采用惰气做载气，利用位于脉冲加热炉上下两个电极之间的石墨坩埚瞬间高达3000℃的特性，使样品在其中被加热熔融。样品中氧化物和氮化物与C发生还原应，生成CO和N2。H,Ar以H2和Ar形式释放。载气将反应释放的混合气体CO、N2，H2，Ar载入飞行时间质谱检测器，不同质量数的离子飞行时间不同，根据被分离的不同离子信息得到样品中O，N，H，Ar的含量。
 

　　质谱气体分析仪的性能优点：
 

　　体积小，重量轻，耐用的ABS机壳
 

　　紧凑的机身同样提供可靠性能，不给用户增加任何重量负担。该设备重244克，可持在掌心内，或夹在口袋、安全帽或皮带上。坚固的ABS构造提供经久耐用的保护，不受撞击或跌落而造成的损坏。
 

　　锂离子电池组
 

　　提供更长的运行时间，带泵或不带泵均可。可在设备内直接进行快速充电。
 

　　标准数据记录功能
 

　　内存可记录长达75小时的数据记录，用于存档。
 

　　快速校准
 

　　同时校准所有传感器，节省时间。与标准校准程序相比，该设备可减少每次校准所需气量，从而节约成本。
 

　　图形式液晶显示器
 

　　液晶显示器显示所有被监测气体的实时读数。图形式操作图标显示电池充电状态、传感器丢失情况及其他相关数据。
 

　　振动报警
 

　　额外的告警功能可就嘈杂环境中报警，向用户发出提示。
 

　　视觉及听觉报警
 

　　明亮的指示灯视觉报警及90分贝听觉报警可在危险环境下提供保护。