非接触式晶圆测量系统
非接触式晶圆测量系统主要性能特征·对射式非接触式同轴激光位移传感器测量·直线电机高精度龙门运动机构·兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量 参考价面议
RX-A气浮光学平台
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RX-B阻尼光学平台
阻尼光学平台介绍：●底面：4～6mm厚碳钢 参考价面议
高精度柔性龙门系统
高精度柔性龙门系统设计特征:·高柔性龙门关节设计 参考价面议
MINISCAN 显微扫描系统
应用场景：半导体晶圆检测、精密光学测量、表面高速扫描、飞拍、金属金相检测主要特征：高速高精度系统能够快速获取样品表面的精密特征，同时由于采用了模块化的设计，测量系统可以适应不同的测量任务以及对自动化、测量舒适性和准确性的个性化要求 参考价面议
晶圆在线连续检测系统
主要配置：1、直线电机气浮共面平台提供运动支持2、陶瓷碳化硅真空吸盘3、进口光谱共焦位移传感器4、晶圆机械手上下料5、双工作盘位6、触摸屏一体机主要性能：1、传感器分辨率20nm2、晶圆厚度测量精度≤0 参考价面议
划片机专用模组
D3111是专门针对划片机加工开发的专用4轴系统，该系统的XY及R轴采用气浮导轨承载，拥有远超机械导轨的寿命、平面度、直线度及定位精度 参考价面议
直线电机气浮平台ABL340-X
ABLE340-X属于经济型的直线电机气浮平台，拥有不弱于其他结构气浮直线电机的性能，同时又兼顾了高加速度、高精度的特点，简单的结构意味着设备有着的可靠性及稳定性 参考价面议
直线电机气浮平台ABL250-X
ABL250-X系列采用全封闭结构的气浮导轨，在垂直以及水平方向均采用了气浮轴承预载的方式，稳定的气隙保证了各个方向都有较大的负载能力，这种设计还让平台拥有出色的刚度，比较适合重负载以及偏置负载 参考价面议
光学气浮平台
光学气浮平台光学平台，供水平、稳定的台面，一般平台都需要进行隔振等措施，保证其不受外界因素干扰，使科学实验正常进行 参考价面议
空压机器
产品介绍l机器外形体积小，重量轻，携带轻便，便于移动；l机组运行无任何震动，噪音值低至45dB(A)；l压力设置简易方便，外观简洁大方，适合任何安静的场所使用 参考价面议
主动隔振光学平台
主动隔振光学平台RXGD-MO系列技术指标：•固有频率：0.5-100Hz•自动平衡 参考价面议

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