· 直线电机高精度龙门运动机构

· 兼容抛光、未抛光、透明及非透明晶圆测量。

· 共面气浮移动轴承确保样品的移动获得的平面度及平顺性

· 兼容1-8英寸规格晶圆样品（可扩展至300mm 12英寸产品）

· 晶圆的测量厚度范围为10um-20mm

· 抗震式花岗岩底座及高隔振一体式机架

· 扫描速度1m/s

· 可自定义生成快速便捷的自动化测量模式

· 直观简单的2D或3D数据呈现方式

· 适用于厚度，TTV，LTV，TIR，Sori，Taper，Bow和Warp 测量参数及标准

激光测量技术

选型要求