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OMTOOLS高精度二维直线电机平台EPSZ系列应用电磁直接驱动器的线性电机。此类电机省去了动力传动系统中的机械部件，并将驱动力无摩擦地直接传递到运动平台。驱动器可实现高速度和高加速度。无铁芯电机非常适合对精度有超高要求的定位任务，因为其不会与性磁铁发生不良作用。这样即使在超低的速度下也能保持平稳的运行，同时，在高速状态下也不会产生振动。避免了控制的非线性行为并且每个位置都很容易控制。非接触式、超高精度的光学编码器直接测量平台的位置。使用交叉滚柱导轨，滚珠导轨中的滚珠的接触点被淬火滚柱的线接触取代。因此，它们的刚度明显提高，需要的预载更小，这减少了摩擦并实现了更平滑的运行。交叉滚柱导轨还具有高导向精度和高负载能力的特征。直线电机位移台应用于各种高精度场合。
材质：7075T6铝合金
| 型号 | EPSZ50 | EPSZ100 | EPSZ150 | EPSZ200 |
| 行程(mm) | 50x50 | 100x100 | 150x150 | 200x200 |
| 台面(mm) | 250x250 | 280x280 | 320x320 | 420x420 |
| 导轨类型 | 精密交叉滚柱导轨 | |||
| 电机规格 | 无铁芯直线电机 | |||
| 电机额定/峰值推力（N） | 17.6/88 | 35.2/176 | ||
| 力常数 ±10% （N/Arms） | 11 | 22 | ||
| 电机常数@25°(N/Sqrt)W | 3.6 | 5 | ||
| 持续电流 （Arms） | 1.6 | 1.6 | ||
| 峰值电流 （Arms） | 8 | 8 | ||
| 负载能力（kg） | 10 | 20 | ||
| 光栅分辨率nm | 50nm | |||
| 台面速度mm/s | ≥200mm/s | |||
| 上轴空载加速度（g） | 4 | 3.5 | 3 | 2.5 |
| 下轴空载加速度（g） | 3.2 | 2.5 | 2.2 | 1.8 |
| 双向重复定位精度（nm） | ≤500 | ≤600 | ||
| 单向重复定位精度（nm） | ≤300 | ≤400 | ||
| 直线度（um） | ≤±5 | ≤±5 | ≤±5 | ≤±5 |
| 平行度(um) | ≤±5 | ≤±5 | ≤±10 | ≤±10 |
| 正交性（arc sec） | 30 | |||
| 材质 | 铝，黑色阳极氧化 | |||
| 重量（kg） | 8 | 10 | 18 | 26 |
| 连接器 | 两个航空插头/GX12-4/4PIN、两个航空插头/GX12-6/5PIN、两个DB15/两排 | |||
| 注：速度为空载时理论计算和实际测试值。 | ||||
