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一、仪器用途
YCJ-6R型TFT-LCD液晶检测DIC显微镜为远仞检测型FPD检查显微镜,专为LCD行业 / TFT玻璃 / COG导电粒子压痕、粒子爆破检查。
微分干涉物镜,从低倍到高倍,都能得到清晰平坦的微分干涉显微图像。使用人员只需在正交偏光的基础上,插入DIC棱镜,即可进行明视场DIC微分干涉观察。使用DIC技术,可以让物体表面微小的高低差产生明显的浮雕效果,极大的提高图像的对比度。同时也可以在不用更换暗场物镜的情况下实现暗场观察,操作既方便也节省另外购置暗场物镜的成本。
二、仪器特点
1)YCJ-6R型TFT-LCD液晶检测DIC显微镜,其微分干涉效果可与进口品牌相媲美
2)YCJ-6R型TFT-LCD液晶检测DIC显微镜机型采用全新设计的长工作距物镜、半复消色差技术,多层宽带镀膜技术,采用长寿命LED光源
3)多种高度功能化的附件,能满足各种检验需要,可用于明场、简易偏光、微分干涉观察
4)全新设计的长工作距专业金相物镜,高倍物镜采用半复消技术。
5)各种观察方法下都能得到清晰锐利与高对比度的显微图像。
6)可以实现X、Y方向105mmx105mm的移动范围。
6)YCJ-6R型TFT-LCD液晶检测DIC显微镜采用4寸、6寸平台设计,可适用于相应尺寸的晶圆或小尺寸样品的金相检查
三、技术参数
配 置 | 参 数 |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
观察方法 | 明场 / 斜照明 / 偏振光 / DIC |
观 察 筒 | 30°铰链式三目,分光比,双目:三目=100:0或50:50 |
目 镜 | PL10X/22平场高眼点目镜 |
转 换 器 | 5孔内倾式转换器,带DIC插槽 |
物 镜 | 无限远长工作距平场消色差金相物镜 5X DIC LMPL5X/0.15 WD10.8mm |
无限远长工作距平场消色差金相物镜 10X DIC LMPL10X/0.30 WD10mm | |
无限远长工作距平场消色差金相物镜 20X DIC LMPL20X/0.45 WD4mm | |
无限远长工作距平场半复消金相物镜 50X LMPLFL50X/0.55 WD7.9mm | |
无限远长工作距平场半复消金相物镜 100X LMPLFL100X/0.80 WD2.1mm (选购) | |
调焦机构 | 粗微调同轴、粗调行程33mm,微调精度0.001,带粗调机构上限位及松紧调节装置。内置90-240V宽电压变压器,单路电源输出 |
载 物 台 | 4寸双层机械移动平台,行程105X105mm,带金属平板平台,右手位X、Y移动手轮 6寸三层机械移动平台,行程158X158mm,玻璃工作台,右手位X、Y移动手轮,带离合器手柄,可快速移动(选配)另可选配:8寸移动平台 |
照明系统 | 反射:带可变视场光阑与孔径光阑,均可调中心;带滤色片插槽与偏光装置插槽;带斜照明切换拉杆;单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调; 透射:单颗大功率5W LED,白色,光强连续可调;带可变孔径光阑 |
偏光附件 | 检偏镜可360度旋转,起偏镜和检偏镜均可移出光路 |
CTV接口 | 1X、1/2X |