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基本规格 | 蔡司 GeminiSEM 500 | 蔡司 GeminiSEM 300 |
分辨率* | 15 kV 时,0.5 nm | 15 kV 时,0.7 nm |
1 kV 时,0.9 nm | 1 kV 时,1.2 nm | |
0.5 kV 时,1.0 nm | ||
在 30 Pa 样品室压力和 3 kV 电压(配有 可变压力机型)下,1.4 nm | ||
加速电压 | 0.02 – 30 kV | |
探针电流 | 3 pA - 20 nA(另有 100 nA 配置) | |
放大倍率 | 50 – 2,000,000 × | 12 – 2,000,000 × |
电子枪 | 热场发射型,稳定性优于 0.2%/h | |
主机标配探测器 | Inlens 二次电子探测器 | |
Everhart Thornley 二次电子探测器 | ||
高效 VPSE 探测器(包含在可变压力选件中) | ||
可选配的探测器 | ||
环形 STEM 探测器(aSTEM 4) | ||
AsB4背散射探测器 | ||
阴极荧光探测器 | ||
图像存储 | 32k × 24k 像素 | |
样品台 | 5 轴电动优中心样品台 | |
X = 130 mm;Y = 130 mm | ||
Z = 50 mm | ||
T = -3o - 70o | ||
R = 360o (连续) | ||
按需可提供更多载物台选件 | ||
*工作距离处的分辨率参数,取决于配置 |