蔡司扫描电镜Sigma系列_扫描电子显微镜-昆山吉安麦机电设备有限公司手机版

详细介绍

蔡司 Sigma 系列扫描电子显微镜
拥有高品质成像和分析功能的场发射扫描电镜
蔡司 Sigma 系列是拥有高品质成像和分析功能的场发射扫描电镜。它收益于久经考验的Gemini 电子光学技术。Sigma 可以配备多种探测器，可以满足不同的应用需求：颗粒物，表面构型及纳米结构等样品的成像。利用 Sigma直观的 4 步工作流程，可以使得日常所需的成像和分析的效率得到提高。

久经考验的Gemini镜筒设计
1. Sigma系列产品是基于Gemini技术开发的。
2. Gemini物镜的设计结合了静电场与磁场的用作，使其电子光学性能化的同时，将电磁场对样品的影响降至，即便是磁性材料，也能轻松应对。
3. Inlens镜筒内二次电子探测器安装在电子束的正光轴上，极大地提高了样品极表面二次电子的吸收效率，从而获得更丰富的样品表面形貌信息。
4. 实现了超低电压下的不导电样品的高分辨成像。

灵活的探测手段获取高分辨率的图像
1. 使用探测器技术描绘您的所有样本。
2. 使用新型的 ETSE 二次电子探测器及用于高真空状态下的 InLens 二次电子探测器可以获得高分辨率的形貌信息。
3. VPSE 和 C2D 探测器在各种压力模式下都可以获取清晰的图像。
4. 使用环形 STEM 探测器可以获取高分辨率的传送图像。
5. 使用四通道BSD探测器和钇铝石榴石晶体探测器研究成分。

的分析系统
1. 扫描电镜与要素分析相结合： Sigma 的 EDS 几何设计能够增强分析能力，尤其是对电子束敏感的样品。
2. 可实现在之前一半的束流下得到分析数据，同时测试速度比之前快一倍。
3. 8.5mm 的工作距离和 35 度的出射角，可得到没有阴影区域的分析结果。

主要技术参数
	蔡司Sigma 300	蔡司Sigma 500
电子枪	肖特基场发射	肖特基场发射
15kV 对应分辨率	1.0 nm	0.8 nm
1kV 对应分辨率	1.6 nm	1.4 nm
背散射电子探测器类型	HD BSD	HD BSD
扫描速度	50 ns/pixel	50 ns/pixel
加速电压	0.02 – 30 kV	0.02 – 30 kV
放大倍率	10× – 1,000,000×	10× – 1,000,000×
探针束流	3pA-20nA（选 20nA ） 6pA-100nA（选 100nA）	3pA-20nA（选 20nA ） 6pA-100nA（选 100nA）
图像存储分辨率	32 k × 24 k pixels	32 k × 24k pixels
接口	12	12
能谱接口	2（1 个 EDS 专用及诶口）	3（2 个 EDS 专用及诶口）
真空模式
高真空模式	Yes	Yes
可变压模式	2 – 133 Pa	2 – 133 Pa
样品台种类	全电动5轴样品台	全电动5轴优中心样品台	可选配全电动5轴样品台
X 方向移动范围	125mm	130mm	125mm
Y 方向移动范围	125mm	130mm	125mm
Z 方向移动范围	50mm	50mm	50mm
倾斜范围	-10 to +90 degrees	-3 to +70 degrees	-10 to +90 degrees
旋转范围	360° Continuous	360° Continuous	360° Continuous

产品简介

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