● 整机结构经有限元优化设计,刚性好、质量轻;
● Y轴和工作台采用高稳定性花岗岩,对温度变化不敏感;
● 高刚性四面环抱气浮导轨设计保证了测量精度和长期稳定性;
● Z轴采用专用低摩擦气缸平衡重量;
● 三轴均采用高分辨率光栅及读数头;
● 开放式结构,方便工件装卸。
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● 整机结构经有限元优化设计,刚性好、质量轻;
● Y轴和工作台采用高稳定性花岗岩,对温度变化不敏感;
● 高刚性四面环抱气浮导轨设计保证了测量精度和长期稳定性;
● Z轴采用专用低摩擦气缸平衡重量;
● 三轴均采用高分辨率光栅及读数头;
● 开放式结构,方便工件装卸。