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OLS5000激光共焦显微镜可准确测量亚微米级的形貌和表面粗糙度。数据采集比奥林巴斯以前的显微镜型号快四倍，从而大大提高了生产效率。
凭借对各种类型样品进行准确3D测量的能力，系统可提供用于质量保证和工艺控制的可靠数据。
| 405纳米紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜难以发现的精细纹理和缺陷。 | ||
| 红光型（658纳米：0.26微米空间) | 微米紫光型（405纳米：0.12线和空间) | |
LEXT专用物镜可准确测量采用其他方式测量会发生畸变的周边区域。
传统物镜
LEXT物镜
新的MEMS扫描振镜具有较低的扫描轨迹失真和较小的光学像差，可进行准确的X-Y扫描。
4K扫描技术可在X轴方向扫描4096像素，是奥林巴斯以前显微镜型号的四倍。
OLS5000显微镜可在无需进行图像校正的情况下检测几乎垂直的陡峭斜面以及很低的台阶。
由于传统激光显微镜采用诸如平滑去除噪声等标准图像处理技术，其有时会将准确测得的细微高度不规则测量数据连同噪声一起去除。
OLS5000显微镜采用奥林巴斯自动检测可靠数据的智能判别算法，可在不丢失细微高度不规则测量数据的情况下实现去确测量。
VLSI标准80纳米高度样品(MPLFLN10XLEXT)
OLS5000显微镜采用了用于3D数据构建的PEAK算法。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据，并可缩短数据采集时间。
在不降低精度的情况下，测量700微米的台阶大约在15秒左右（使用MPLAPON20x物镜时）。
测量两个区域之间的台阶高度差和距离
测量两个区域之间的角度差
测量区域的面积/体积；自动检测参考平面，因此无需设置阈值。
测量区域的表面粗糙度
通过自动检测区域的边缘测量宽度
基于区域中的圆形自动识别测量半径R和距离基准平面的高度
智能判别处理可在无损数据精度的情况下自动消除测量噪声，而智能找平功能可探测零高度位置的主水平面（参考平面）。简单一次点击即可启动两项工作。
报告中包含的所有操作和过程均可保存为模板。
在重复进行相同测量时，使用此模板可采用同流程获得下一组数据的分析报告。
无需操作人员干预即可操作流程和测量点的功能能够以很小差异进行快速、准确的分析。
| 输出报告并进行测量 | 输出报告并保存模板 | 在下次采集过程中，打开已保存的模板 | 即刻输出基于模板的报告 |
| OLS5000显微镜的扩展架可容纳高达210毫米的样品，而超长工作距离物镜能够测量深度达到25毫米的凹坑。 在进行这两种测量时，您只需将样品放在载物台上即可。 | |||
| 连杆 | 刀具 | 活塞头 | |
奥林巴斯可提供能够针对405纳米激光减小像差的10x至100x系列物镜。本系列还包括低倍率和长工作距离物镜。所有LEXT专用物镜均可确保测量性能，由此可以选择适合您所观察样品的一款物镜。
Rubert & Co标准粗糙度样板528 (Pt = 1.5微米)
常规物镜（50X）
LEXT专用物镜（50X）
我们的LEXT专用物镜系列产品包括增强显微镜测量性能的10x物镜和长工作距离物镜。
应用
表面纹理/面粗糙度测量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）
喷油嘴(复制品)/面粗糙度测量(LMPLFLN50XLEXT)
活塞环/面粗糙度测量（MPLAPON50XLEXT）
轴承球/轮廓测量（MPLAPO50XLEXT）
不锈钢腐蚀坑/高度测量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）
铜板/面粗糙度测量（MPLAPON50XLEXT）
扩散板/轮廓测量（MPLAPON50XLEXT / 3×3拼接）
海绵/轮廓测量（MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接）
镍块/高度测量(MPLAPON20XLEXT)
MEMS(MPLAPON50XLEXT)
光刻胶/高度测量（MPLAPON100XLEXT）
键合金线（MPLAPON100XLEXT）
微针/轮廓测量（MPLAPON50XLEXT / 6×6拼接）
皮肤（复制品）/面粗糙度测量（MPLAPON20XLEXT / 5×5拼接）
由文化学园大学服装学院功能设计实验室提供
研磨石/轮廓测量（MPLAPON20XLEXT）
圆珠笔插座/面粗糙度测量（LMPLFLN20XLEXT）
技术规格
| 型号 | OLS5000-SAF | OLS5000-SMF | OLS5000-LAF | OLS5000-EAF | OLS5000-EMF | |
| 总倍率 | 54x – 17,280x | |||||
| 视场直径 | 16um – 5,120um | |||||
| 测量原理 | 光学系统 | 反射式共聚焦激光扫描激光显微镜 | ||||
| 反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜 | ||||||
| 彩色 | ||||||
| 彩色DIC | ||||||
| 光接收元件 | 激光：光电倍增管（2ch） | |||||
| 彩色：CMOS彩色相机 | ||||||
| 高度测量 | 显示分辨率 | 0.5nm | ||||
| Linear scale | 0.78nm | |||||
| 动态范围 | 16 bits | |||||
| 重复性*1 *2 *6 | 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm | |||||
| 准确性*1 *3 *6 | 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm]) | |||||
| 拼接图像准确度 *1 *4 *6 | 10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm]) | |||||
| 测量噪声*1 *5 *6 | 1nm [Typ] | |||||
| 宽度测量 | 显示分辨率 | 1nm | ||||
| 重复性 *1 *6 | 10x : 0.2μm, 20x：0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm | |||||
| 准确度*1 *3 *6 | 测量值 +/- 百分之1.5 | |||||
| 拼接图像准确度*1 *3 *6 | 10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm]) | |||||
| 单次测量时测量点的数量可到 | 4096 x 4096 pixel | |||||
| 测量点的数量可到 | 36 Mpixel | |||||
| XY 载物台配置 | 长度测量模块 | • | 无 | 无 | • | 无 |
| 工作范围 | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | 300 x 300 mm Motorized | 100 x 100mm Motorized | 100 x 100mm Manual | |
| 样品高度可到 | 100mm | 40mm | 37mm | 210mm | 150mm | |
| 激光光源 | 波长 | 405nm | ||||
| 输出可到 | 0.95 mW | |||||
| 激光分类 | 2类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014) | |||||
| 彩色光源 | 白光 LED | |||||
| 电气功率 | 240 W | 240 W | 278 W | 240 W | 240 W | |
| 质量 | 显微镜主体 | 约31 kg | 约 32 kg | 约 50 kg | 约43 kg约 | 44 kg |
| 控制箱 | 约12 kg | |||||
* 1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证（温度：20˚C±1˚C, 湿度:50％±1％）。
* 2 在使用MPLAPON LEXT 系列物镜测量时超过20次。
* 3 在使用LEXT专用物镜测量时。
* 4 在使用MPLAPON100XLEXT 物镜测量时的典型值。
* 5 基于奥林巴斯认证体系保证。
| 系列 | 型号 | 数值孔径（NA） | 工作距离（WD）（毫米） |
| UIS2物镜 | MPLFLN2.5x | 0.08 | 10.7 |
| MPLFLN5x | 0.15 | 20 | |
| LEXT专用物镜（10X） | MPLFLN10xLEXT | 0.3 | 10.4 |
| MPLAPON20xLEXT | 0.6 | 1 | |
| LEXT专用物镜（高性能型) | MPLAPON50xLEXT | 0.95 | 0.35 |
| MPLAPON100xLEXT | 0.95 | 0.35 | |
| LMPLFLN20xLEXT | 0.45 | 6.5 | |
| LEXT专用物镜（长工作距离型） | LMPLFLN50xLEXT | 0.6 | 5 |
| LMPLFLN100xLEXT | 0.8 | 3.4 | |
| SLMPLN20x | 0.25 | 25 | |
| 超长工作距离物镜 | SLMPLN50x | 0.35 | 18 |
| SLMPLN100x | 0.6 | 7.6 | |
| LCPLFLN20xLCD | 0.45 | 8.3-7.4 | |
| 适用于LCD透镜的长工作距离 | LCPLFLN50xLCD | 0.7 | 3.0-2.2 |
| LCPLFLN100xLCD | 0.85 | 1.2-0.9 |
| 标准软件 | OLS50-BSW | 数据采集app 分析app (简单分析) |
| 电动载物台套装应用*1 | OLS50-S-MSP | |
| 扩展分析应用*2 | OLS50-S-AA | |
| 薄膜厚度测量 | OLS50-S-FT | |
| 自动边缘测量应用 | OLS50-S-ED | |
| 颗粒物分析应用 | OLS50-S-PA | |
| 多文件分析应用 | OLS50-S-MA | |
| 球体/圆柱体表面角度分析应用 | OLS50-S-SA | |
* 1包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
* 2包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。
OLS5000-SAF配置示例
