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安全稳定的系统结构
Motic全新推出的PA80MET / PA120MET正置金相显微镜采用灵活的模块化设计、不仅确保的光学性能，还具有安全稳定的机架结构，使之低重心、高刚性、高稳定性，极大的提高了显微镜的抗振能力，使PA80MET / PA120MET正置金相显微镜可广泛的应用于工业检测及大型试样检测，尤其是LCD液晶屏行业、晶圆行业的理想检测工具。
机型系列：
PA80MET / PA80MET-T （ 落射 / 透反照明型 ）
•载物台行程：200 x 200 mm
PA120MET / PA120MET-T （ 落射 / 透反照明型 ）
•载物台行程：300 x 300 mm
1.采用前置低位粗微同轴调焦系列，即便在超大负荷工作下也不会出现下滑现象，以及长期使用的可靠性。
2.超大行程移动平台，移动范围：305mm X 305mm,可适用于12”的晶圆、LCD或FPD检测， 也可用于小尺寸样品的陈列检测，通过切换离合器手柄可实现全行程范围内的快速移动。
3.多样的照明器可供选择：12V100W卤素灯明场落 射照明，12V100W卤素灯明暗场落射照明，可以根据需要选择，电器全部内置主机，方便操作。
4.高精度物镜转换器：采用精密轴承设计，秉承了 Motic 轻巧舒适的手感和良好的重复定位精度及同心精度。
电动转换器
电动转换器提高了您的工作流程的速度，标志着PA53MET 更方便地使用。根据您的需求和偏好，从软件、框架按钮或控制器调整方法中进行选择，以进一步提高生产能力和效率。
通过高精度、高准确性、人性化的三维分析系统达到令人惊讶的效果
Z-轴模块
Z 轴对焦模块的地形分析功能和三维特征通过我们的Motic Analysis的软件它生成所有的2D图像转换为3D 配置文件组成。
Z轴模块参数
行程距离 | 30 mm | 尺寸 | W:240 mm D:157 mm H:202.5 mm |
精度 | 0.01 pm | ||
重复性 | 0.5 pm | ||
速度 | 1.4 mm/s | 负载能力 | 15 kg |
重量 | 5 kg |
方便的控制板
为了帮助检查高度一目了然，通过Z轴控制板的显示器 的8个速度设定，控制Z轴可以精确确认位置。此外，通过紧急停止按钮帮助来保护阻止意外情况的发生。
PA80MET 技术规格
明场系列 | 暗场系列 | |||||||
机型 | PA80MET | PA80MET-T | PA80MET-3D | PA53MET-T- 3D | PA80MET-T-3D | PA80MET-BD-T | PA80MET-BD-3D | PA80MET-BD-T-3D |
光学系统 | 无限远校正光学系统（CCIS） | |||||||
照明 | 反射 | 反射/透射 | 反射 | 反射/透射 | 反射 | 反射/透射 | 反射 | 反射/透射 |
观察筒 | 正像三目头部（FN 25），倾斜角20°,三筒光路2档选择：（目视：相机-100:0, 0:100） | |||||||
正像双目头（FN25），倾斜角20°（选配） | ||||||||
目镜 | UC-WF 10X/25,屈光度可调+/-5（标配） | |||||||
N-WF 15X/16，屈光度可调+/-5（选配） | ||||||||
N-WF 20X/12.5，屈光度可调+/-5（选配） | ||||||||
转换器 | 五孔明场转换器带DIC插槽 | 五孔暗场转换器带DIC插槽 | ||||||
电动五孔明场转换器带DIC插槽（选配） | 电动五孔暗场转换器带DIC插槽（选配） | |||||||
Plan S-APO 平场半复消色 差金相物镜 | Plan S-APO 5X/0.15 Plan S-APO 10X/0.3 Plan S-APO 20X/0.45 Plan S-APO 50X/0.8 Plan S-APO 100X/0.9 (选配) | Plan S-APO BD 5X/0.15 Plan S-APO BD 10X/0.3 Plan S-APO BD 20X/0.45 Plan S-APO BD 50X/0.8 Plan S-APO BD 100X/0.9 (选配) | ||||||
LPlan S-APO 长距平场半复 消色差金相物镜（选配） | LPlan S-APO 20X/0.4 LPlan S-APO 50X/0.55 LPlan S-APO 100X/0.8 | LPlan S-APO BD 20X/0.4 LPlan S-APO BD 50X/0.55 LPlan S-APO BD 100X/0.8 | ||||||
调焦机构 | 行程范围：29.5 mm，粗调和微调手轮 粗调：17.7 mm/转，微调：0.1mm/转上限位，松紧调节环 | |||||||
电气 | 集成电源，用于直流12V100W调光。LED亮度指示，IL开关和ECO开关 | |||||||
反射主体 | Yes | / | / | / | Yes | / | / | / |
透反主体 | / | Yes | / | / | / | Yes | / | / |
反射3D主体 | / | / | Yes | / | / | / | Yes | / |
透反3D主体 | / | / | / | Yes | / | / | / | Yes |
反射照明 | 柯勒照明系统/明场，DIC,简易偏光 | 柯勒照明系统/明场，暗场，DIC,简易偏光 | ||||||
光源 | 12V / 100W长寿命卤素灯泡 | |||||||
透射照明 | / | Yes | / | Yes | / | Yes | / | Yes |
照明 | / | 勒照明系统明场/内置滤色片 | / | 勒照明系统明场/内置滤色片 | / | 柯勒照明系统明场/内置滤色片 | / | 勒照明系统明场/内置滤色片 |
光源 | / | 12V/100W长寿命卤素灯泡 | / | 12V/100W长寿命卤素灯泡 | / | 12V / 100W长寿命卤素灯泡 | / | 12V/100W长寿命卤素灯泡 |
聚光镜 | / | LWCD, N.A 0.65 | / | LWCD, N.A 0.65 | / | LWCD, N.A 0.65 | / | LWCD, N.A 0.65 |
载物台 | 尺寸：325mm （最宽处 415mm） X 325mm 移动行程：200mm X 200mm 选配：晶圆台板 | |||||||
PA80MET 技术规格
明场系列 | 暗场系列 | |||||||
机型 | PA120MET | PA120MET-T | PA120MET-3D | PA120MET-T- 3D | PA120MET-BD | PA120MET- BD-T | PA120MET-BD-3D | PA120MET-BD- T-3D |
光学系统 | 无限远校正光学系统（CCIS） | |||||||
照明 | 反射 | 反射/透射 | 反射 | 反射/透射 | 反射 | 反射/透射 | 反射 | 反射/透射 |
观察筒 | 正像三目头部（FN 25），倾斜角20°,三筒光路2档选择：（目视：相机-100:0, 0:100） | |||||||
正像双目头（FN25），倾斜角20°（选配） | ||||||||
目镜 | UC-WF 10X/25,屈光度可调+/-5（标配） | |||||||
N-WF 15X/16，屈光度可调+/-5（选配） | ||||||||
N-WF 20X/12.5，屈光度可调+/-5（选配） | ||||||||
转换器 | 五孔明场转换器带DIC插槽 | 五孔暗场转换器带DIC插槽 | ||||||
电动五孔明场转换器带DIC插槽（选配） | 电动五孔暗场转换器带DIC插槽（选配） | |||||||
Plan S-APO 平场半复消色 差金相物镜 | Plan S-APO 5X/0.15 Plan S-APO 10X/0.3 Plan S-APO 20X/0.45 Plan S-APO 50X/0.8 Plan S-APO 100X/0.9 (选配) | Plan S-APO BD 5X/0.15 Plan S-APO BD 10X/0.3 Plan S-APO BD 20X/0.45 Plan S-APO BD 50X/0.8 Plan S-APO BD 100X/0.9 (选配) | ||||||
LPlan S-APO 长距平场半复 消色差金相物镜（选配） | LPlan S-APO 20X/0.4 LPlan S-APO 50X/0.55 LPlan S-APO 100X/0.8 | LPlan S-APO BD 20X/0.4 LPlan S-APO BD 50X/0.55 LPlan S-APO BD 100X/0.8 | ||||||
调焦机构 | 行程范围：29.5 mm，粗调和微调手轮 粗调：17.7 mm/转，微调：0.1mm/转上限位，松紧调节环 | |||||||
电气 | 集成电源，用于直流12V100W调光。LED亮度指示，IL开关和ECO开关 | |||||||
反射主体 | Yes | / | / | / | Yes | / | / | / |
透反主体 | / | Yes | / | / | / | Yes | / | / |
反射3D主体 | / | / | Yes | / | / | / | Yes | / |
透反3D主体 | / | / | / | Yes | / | / | / | Yes |
反射照明 | 柯勒照明系统/明场，DIC,简易偏光 | 柯勒照明系统/明场，暗场，DIC,简易偏光 | ||||||
光源 | 12V / 100W长寿命卤素灯泡 | |||||||
透射照明 | / | Yes | / | / | / | Yes | / | / |
照明 | / | 勒照明系统明场/内置滤色片 | / | / | / | 柯勒照明系统明场/内置滤色片 | / | / |
光源 | / | 12V/ 100W长寿命卤素灯泡 | / | / | / | 12V/ 100W长寿命卤素灯泡 | / | / |
聚光镜 | / | LWCD, N.A 0.65 | / | / | / | LWCD, N.A 0.65 | / | / |
载物台 | 4x4"尺寸 210(W) X 170(D) mm,行程 104(X) X 102(Y) mm,金属台板，玻璃台板 | |||||||
PA80MET & PA120MET 尺寸图
