偏光观察                                                                                  微分干涉对比观察

观察过滤后只有一个方向振动的光。适于观察具有                          在检测金属、液晶和半导体表面的微小划痕和阶差时很有效。

特殊光学特性的材料，如矿石和液晶。                        

                                       暗视场观察                                                                          亮视场观察

挡住直射到物体上的光，只观察散射光，通过高对比度能                        最普通的观察方式，直接观察从工件表面反射的光。

观察到在亮视场看不到的划痕和粉末。                    

新功能增强Z轴测量精度

● 辅助对焦（FA）

新近研发的分光棱镜辅助对焦（FA）提供更锐利的图案，可在Z轴测量期间提供精确对焦。由于不同物镜焦深差异导致的测量误差被降到。

规格

● 无限远系统，管镜200mm

● 倾斜角度30°，瞳孔距离55-75mm，正像

● 高眼点，大视场WF10/22

● 鼻轮螺纹M26X0.706

● Z轴的长度180mm，微动精度0.002mm，测量精度（at20℃），XY-轴的（2.5 0.02L）um，L=测量长度（mm）在没有放物体分辨率为0.001mm

● 12V50W反射卤素灯

● 3W高亮度LED光源

● 可配置辅助调焦装置（FA）

技术参数

具体配置和规格请，