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结合金相显微镜的高倍观察能力,与影像测量仪的X、Y、Z 轴表面尺寸测量功能,具备明暗场、微分干涉、金相、偏光等多种观察功能。广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、、汽车行业、计量行业等
型号 | MS |
放大倍率 | 50X、100X、200X、500X |
光学系统 | 无限远色差校正光学系统(半复消色差) |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜PL10X/22mm,视度可调 |
物镜 | 长工作距平场消色差金相物镜(5X、10X) 超长工作距平场半复消色差金相物镜(20X) 长工作距半复消色差金相物镜(50X) |
观察筒 | 30°倾斜,正像,无限远铰链三通观察筒,瞳距调节:50--76mm,两档分光比100/0 或0/100 |
转换器 | 内定位五孔转换器,带DIC 插槽 |
工作台 | 测量显微镜主体:带Z 轴测量模块(Z 轴行程175mm)电动控制,带手动测量平台(XY行程:200×100mm,带数显器,带电动调焦控制盒,带5WLED 透射照明(绿色);样品高度150mm; 测量精度:X、Y:(2+L/200)μm,L 为测量长度(单位 mm) Z:(3+L/200)μm |
照明系统 | 明暗场反射照明器,带明暗场照明切换装置;带滤色片插槽与偏光装置插槽,带5WLED 灯源,亮度可调(含托架适配器) |
辅助对焦模块,带对焦分划板两档,带绿光5WLED 灯源组(含100V-240V 宽电压,5WLED 控制器) | |
偏光装置 | 起偏镜插板,360°旋转式检偏镜插板 |
摄像附件 | 0.5X摄像接筒,C 型接口,可调焦 |
相机软件 | USB数字相机;MS专用测量软件 |