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物镜、孔径光阑等采用电动切换模式,操作更加方便快捷配置 12 寸超大移动平台,为晶圆、液晶面板检测提供的工作环境。涵盖明场、暗场、偏光、微分干涉等多种观察方式,为您提供高效的检测解决方案。
舒适灵活内的多角度观察
■仰角可调观察筒能够使用户无需因为身高的差异而经常调节座位,调节范围在 0°至 35°,无论用户的身高如何,以及想要坐立或者站立观察都能找到的舒适位置,大大减轻了长时间工作带来的疲劳感,提高检测效率。
全新离合驱动式载物台
■XC-12R 采用离合式手柄,用户按下离合扳手就可灵活移动平台,无需长时间捏紧手柄,按下离合按钮,取消快速移动。避免长时间操作出现手麻现象,并加快观察速度。
防震支架设计
■机身由六端支架支撑,低重心、高稳定性全金属机架,具备强效的防抖功能,确保像质稳定。
落射照明器
■电动孔径光阑与物镜连锁,孔径光阑自动调节,以适应不同倍率的数值孔径,自动优化成像质量,操作更加方便快捷。
安全、高速的电动式物镜转换器
■只需轻按电动按键,即可快速实现物镜切换,缩短检查所需时间。
MX12R半导体FPD检查显微镜主要参数:
光学系统 | 无限远色差校正光学系统 |
观察方式 | 明场/暗场/偏光/DIC |
观察筒 | 无限远铰链三通观察筒,0-35°倾角可调,正像,瞳距调节 :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100 |
目镜 | 高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm,视度可调,可带单刻度十字分划版 |
物镜 | 无限远明暗场半复消金相 DIC 物镜 5X 10X 20X 50X 100X |
无限远长工作距明暗场半复消金相 DIC 物镜 20X | |
无限远长工作距明暗场半复消金相物镜 50X 100X | |
转换器 | 明暗场六孔电动转换器,带 DIC 插槽 |
机架组 | 反射式机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程35mm,微调精度0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统 |
透反机架,前置低手位粗微同轴调焦机构。粗调行程 35mm,微调精度 0.001mm。带有防止下滑的调节松紧装置和随机上限位装置。内置 100-240V 宽电压系统 | |
载物台 | 右手位 14×12 英寸三层机械移动平台,低手位 X、Y 方向同轴调节 ;平台面积 718mmX420mm,移动范围 :356mmX305mm |
带离合器手柄,可用于全行程范围内快速移动 ;玻璃载物台板 ( 反射用) | |
电动平台 | 面积 495mmX641mm,移动范围 :306mmX306mm ;软件控制 X、Y 移动,重复定位精度,(3+L/50)μm 带平板平台 |
照明系统 | 明暗场反射照明器 , 带可变电动孔径光阑,视场光阑 , 中心均可调 ;带明暗场照明切换装置 ;带滤色片插槽与偏光装置插槽 |
摄影摄像附件 | 0.5X/0.65X/1X 摄像接筒,C 型接口,可调焦 |
其他 | 起偏镜插板,固定式检偏镜插板,反射用干涉滤色片组 ;高精度测微尺 ;DIC 组件 |