产品介绍：

M3020AT工具显微镜具有高精度线性测量和金相观察功能的多功能仪器。X/Y/Z三轴全自动控制，产品广泛于半导体、显示屏、微电子器件、精密汽车零件、注塑件、以及医疗器具等产品进行详细检测。产品适用于不可接触的易碎或则极小细节工件测量，具备优异的光学性能和精密的操作性平衡，用于目视不可见物体的观察以及精密测量，满足用户对高精密器件精密度的持续增长要求。

本机主体机构通过搭配、三目金相光学系统、高清数字工业相机、透反射照明裝置、XYZ三轴精密电动控制机构精度1UM。  具有精密数据测量、显微放大、显示输入和输出等数据处理功能，用相对量测法检查工件表面形状等非接触 测量为目的各种精密加工业，是计量室、实验室以及生产车间的计量检测设备之一。

产品特点

 ◆  XYZ三轴通过电动手脉进行精准控制（对焦精度可达0.0005mm）

 ◆ 高精度测量，同时具有大测量范围和高精度，适用于各种测量

 ◆ 选用无限远长距明/暗场金相物镜，满足长工作距离的测量要求

 ◆ 照明装置（反射/透射）可选用高亮度LED的照明或卤素照明

 ◆  利用可变孔径光阑进行无衍射观察测量

 ◆ 快速释放装置便于测量工件大或测量工件数量多的快速移动工作台

 ◆ 高位目镜观察

 ◆ 千兆网口CCD图像成像(HKVISION-320万像素)

技术参数

3.1主体规格

◆ X坐标行程:     300（mm）300 电动

◆ Y坐标行程：   200（mm）200 电动

◆ Z坐标行程:      150（mm）（电动）

◆ X、Y坐标测量示值误差≤（3+L/150）µm ，L为被测长度(单位：mm)

◆ X、Y、Z数显分辨率：0.0001mm  

◆ 轮廓光源：绿色LED平行光源，无极亮度可調

◆ 上光源：白色LED环形可调光源

观察系统

◆  无限远铰链三通观察筒，0-35°倾角可调，正像， 瞳距调节 :50-76mm，分光比 100:0 或 0:100。

◆  无限远明场物镜 5X 、10X、 20X 、50X 、100X（选购）

◆  高眼点大视野平场目镜 PL10X/25mm，视度可调，可带单刻度十字分划版

◆  总放大倍数：  50-100-200-500-1000

◆  标配CCD相机1X镜筒

◆  CCD：千兆网口高清晰CCD摄像头

软件功能

◆  配备专业视觉影像测量软件，带十字线捕捉闪烁功能，可测量二维平面尺寸（角度、直径、半径、点到点的距离、点到线的距离、线到线距离、线到圆的距离、圆到圆的距离等等）；

◆  图形自动捕捉：开启自动捕捉功能后，测量点、线、圆及圆弧，可自动捕捉到最清晰的地方；

◆  视觉拍照功能：可通过软件抓拍实时产品图片，然后保存到电脑里，并可通过软件调出图片进行查看或处理；

◆  标注文字：可在实时影像中标注文字说明；

◆  公英制转换：测量值可在公制和英制之间切换；

◆  X、Y清零：可用画面十字线设置任意点为相对原点，将X、Y坐标清零；

◆  测量数据输出：可将测量数据或图形导入WORD或EXCEL做报表；

◆  “浏览”窗口： 可观察工件的全图形并具有类似AutoCAD的缩放功能；

◆  辅助功能：可把在软件中绘制出的图形进行移动、旋转、复制、删除，并可作任意线段的平行线、垂直线；

◆  自动两点线：在单一画面下可自动捕捉工件的边缘，无须以人工取线，减少人眼误差，提高测量精度；

◆  自动三点圆：在单一画面下可自动捕捉工件的圆半径、直径，并绘出图形，无须以人工取圆，减少人眼误差，提高测量精度；

◆  自动多点线：自动捕捉工件边缘，然后根据工件边缘拟合出图形，从而减少两点取线及人眼的误差；

◆  自动多点圆：自动捕捉工件边缘，然后拟合出工件的孔径，并绘出图形，从而减少三点取圆及人眼的误差；

◆  自动圆：在单一画面下用鼠标框中图形，可快速自动捕捉出圆.；

◆  设定工件坐标：可以根据客户本身的需要在影像中的实际工件上自行设定工件坐标，有两点确定X轴、两点确定Y轴或三点确定坐标系等多种设定方法；

◆  具有坐标平移、坐标旋转及坐标分中等功能：

◆  坐标标注：可标注工件中任意点的坐标值；

◆  Pitch标注：可标注任意点到一条直线的垂直距离，可标注任意两线的垂直距离。