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| 接触速度（Z 方向） | 0.1 至 1 mm/s |
|---|---|
| 测杆长度 | 175 mm, 350 mm |
| 测量速度（文本） | 0.2 mm/s 至 4 mm/s |
| 针尖半径 | 25 |
| 扫描长度末尾（X 方向） | 200 mm |
| 分辨率 | Z 方向，相对探针针头： Z 方向，相对测量系统： |
| 扫描长度开始（X 方向） | 0.2 mm |
| 取样角 | 在平滑表面上，取决于偏差： 后缘高至 88°，前缘高至 77° |
| 定位速度（文本） | X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s Z 方向：0.2 至 10 mm/s |
| 导块偏差 | < 1 µm（200 mm 以上） |
| 测量原则 | 探针法 |
| 输入 | R 测头，MFW 250 光学测头 Focodyn*、LS 1*、LS 10* （*仅结合 PGK 或 GD 120 CNC 驱动装置） |
| 测量范围 mm | (in Z) 50 mm MFW 250: ±25 µm，±250 µm，（ ±750 µm）；±1000 µin，±10,000 µin（ ±30,000 µm） |
| 扫描长度（文本） | 自动；0.56 mm；1.75 mm；5.6 mm；17.5 mm，56 mm， （.022 / .070 / .224 / .700 / 2.240 英寸）， 测量至挡块，可变 |
| 采样长度数量符合 ISO/JIS | 1 至 50（默认：5） |
| 测量力 (N) | 1 mN 至 120 mN 左右 （可在 MarSurf XC 20 中设置） |
