RTP-3-04快速退火炉厂家 供应半导体晶圆退火设备
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武汉嘉仪通科技有限公司成立于2009年,是一家技术自主创新的国家新技术企业。公司集快速退火炉研发、市场和技术服务于一体的快速退火炉厂家,本公司生产销售的快速退火炉覆盖1-12吋样品测试,分为科研与产线两种应用场景类型共8款机型。快速退火炉厂家 供应半导体晶圆退火设备。
快速退火炉产品特点:
快速加热和降温: 可控升温速率可达50 ℃/s,特定条件下可以达到100 ℃/s。冷壁水冷设计能够达到较大的降温速率,特定条件下可达30 ℃/s。
精确控温: 采用工业级温控器进行PID精确控温,目标温度与设定温度曲线一致性高,可实现室温至1200 ℃的温度精确控制。
适应多种工艺环境: 满足多种工艺气氛下的热处理(氮气、氩气等)。同时,通过选配真空泵,可以在真空条件下进行退火,真空度可达10-3Pa。
配备观察窗口: 通过观察窗口,可以实时观察热处理过程中的样品变化。同时,可以结合相关测试方法进行原位测试分析。
超高安全系数: 采用炉壁超温报警系统和冷却水流量报警系统,多方位保障仪器使用安全。
快速退火炉厂家:拥有自主研发技术和制造能力,能快速反应客户售后需求。
快速退火炉技术参数:
型号 | 1-12英寸系列 |
温度 | 1200℃ |
升温速率 | 50℃/s |
温度均匀性 | ≦1%设定温度 |
温度控制 | 选用工业级温控器,控温精度±0.1℃ |
温度传感器 | 标准K型热电偶 |
降温速率 | 1200℃→400℃,200℃/min 400℃→100℃,20℃/min (自然冷却) |
样品尺寸 | 1-12英寸样品 |
快速退火炉厂家 供应半导体晶圆退火设备服务的客户:
公司的快速退火炉服务于的大学有:清华大学、复旦大学、南京大学、浙江大学等大学;
服务的重要科研院所:中科院微电子所、半导体所、微系统所、绵阳九院等;
服务的半导体企业有:华为海思、三安光电、敏而精密、泽达等等头部半导体企业等等。