Ø  适用于大多数样品，包括薄片、粉末、碎片、透明与非透明样品，无需对样品进行喷碳或喷金处理 。
Ø  可通过不同大小的光孔对矿物或试样进行微区分析（最小50~100μm），还可通过对束斑大小的调节，得到矿物未知成分的平均值。
Ø  电子束激发X射线荧光强度高，强度要大于X射线激发源的激发强度约4-5个数量级，分析灵敏度高，测试时间短。
Ø  电子束入射样品深度很浅（仅仅为1-2μm左右），是真正的表面分析。
Ø  除激发的特征X射线被探测以外，没有其他的噪声信号被探测，分析结果更准确
Ø  探测器可探测的元素范围为11(Na)～92(U)。特别是对Na, Mg, Al, Si, P, S, Cl, K, Ca, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn等主量元素的分析结果灵敏度高，谱线重复性好。
Ø  全分析，内建诊断功能，全自动操作，一键式分析软件，操作简便。