高低温探针台特点

● 产品功能：高低温探针台为小尺寸样品测量电特性，提供高精度可控的测量环境；

● 使用范围：帮助精准测量和分析判断晶圆器件的性能。

● 应用领域：提供材料/器件的IV/CV特性测试，LD/LED/PD的光强/波长测试，射频特性器件失效分析，芯片内部线路/电极/PAD测试等技术解决方案；

● 定制服务：定制样品台和测量方式；

● 自动控温：PID自整定连续多点控温。

真空探针台技术参数：

● 外形尺寸：长650mm*宽650mm*高1300mm；

● 温度范围：-196~400℃（环境温度）；

● 制冷加热方式：液氮制冷，电阻加热；

● 样品台尺寸：≤φ100mm；

● 有效高度：40mm；

● 真空度：机械泵≤10Pa，分子泵≤5.0 e-3Pa；

● 气路：1-2路；

● 温度传感器：PT100；

● 控温方式：PID线型调节；

● 控温精度：±0.1℃；

● 升温速率：80℃/min（RT到100℃）；

● 降温速率：50℃/min（RT到-100℃）；

● XYZ轴行程：50mm*50mm*10mm；

● 探针结构：外置探针臂，真空波纹管结构；

● 移动精度：0.01mm；

● 线缆：同轴线/射频线；

● 探针类型：钨探针（类型可选）；

● 接头类型：BNC/鳄鱼夹/接线端子；