测量范围：200mm×100mm

分辨率：0.0002mm

准确度：（1+L/100）μm（其中 L为测量长度，单位：mm）

工作台

平工作台尺寸：260mm×270mm

圆工作台直径：φ 213mm

圆工作台角度分划范围：0°~ 360°

圆工作台角度分度值：30"

物镜

主显微镜立柱

倾斜范围：±12°

倾斜角度分度值：30'

测角目镜

角度分划范围：360°

角度分度值：1'

轮廓目镜

角度分划范围：±7°

角度分度值：10'

顶针装置

夹持长度：700mm

夹持直径：φ100mm

高顶针架

夹持长度：200mm

夹持直径：φ250mm

圆分度头

角度分划范围：0°~ 360°

角度分度值：1′

光学定位器

测杆垂直方向摆动范围：±3°

最小探测孔径：φ5mm

探测深度：15mm

定位变动性：<1μm

测量力（N）：0.1±0.03

环境要求：室温20±1℃，相对湿度40％－60％RH

仪器外形尺寸(mm) :长1300×宽1250×高800

仪器质量：450kg