AMOLF Albert Polman组创新研发ARC(angle-resolved cathodoluminescence)技术,因此荣获2014年MRS大奖。后该技术由荷兰Delmic公司重新设计并商用,并命名为SPARC。
SPARC系统是一种高性能阴极发光收集和检测系统。 该系统的*之处在于其易用性和兼容性,可以在任何SEM上进行加装。 凭借的高精度镜面带来的超高灵敏度和易用性将阴极发光应用提高到一个新的水平。 SPARC也是具有角度分辨模式的阴极发光检测系统,可实现快速,高灵敏探测纳米级光学特性和材料特征,主要应用于纳米光学,材料科学和地质学研究。SPARC开辟了全新的高阶应用,如纳米光子学,表面等离激元,光伏电池,纳米天线等领域。
研究 全面表征样品特性 SPARC是研究纳米级光谱信息的理想平台。系统集成加装在SEM上,让您能够轻松实现阴极发光成像,以及与SEM其他探测结果的关联,如EBSD电子背散射衍射,EBIC和BSD,全面表征您的样品,获得更多信息。 与SEM无缝集成 系统无干涉安装在SEM提供的真空端口上,内部收集镜可电动回退。恢复电镜到原始状态异常简单轻松, 您只需要操作软件,点击抛物镜回退功能即可。整个过程不到五分钟,就可*恢复SEM到其原始状态。
半抛物镜自动回退演示
成像模式 快速光强扫描 快速模拟量光电倍增管PMT检测,可用于大规模快速成像。对于大面积样品快速检测,非常适合地质领域的应用、超快器件的研究和感兴趣区域的快速定位。内置滤波片转轮,可根据需要配置和筛选频谱。 角分辨解析光谱成像 SPARC提供非常*的角分辨解析图像。与常规通过光纤或狭窄开口耦合光线不同,大面积半抛物反射镜直接耦合反射到成像照相机,大幅度提高光子收集特别的是, 系统还能检测光的发射方向性,也常被称为瞬间光谱。在这种模式下,调整使用滤光片转轮上特定滤波片用于选择需要的波长。
高谱像 当SPARC系统运行在光谱模式下,从反射镜传递来的光聚焦在光栅或柴尔尼 - 特纳摄谱仪成像。不同的成像探测器可以覆盖200nm-1600nm的光谱范围。通过电子束扫描整个样品,就可以得到高空间分辨率的光谱图像。
阴极发光偏振图像 在角度分辨模式使用偏振片或偏光计,SPARC系统可以对不同发射角度的光进行极性状态重构。*的光学系统自动校准包括半抛物反射镜的对准的校验,对于极性状态重构是最最关键的一环。SPARC提供完整的系统自动校准功能。
友好用户交互 Odemis 软件 模块化设计加上开源的ODEMIS软件, 我们提供友好交互解决方案以服务广泛的用户类型。 我们提供系统化解决方案,实现真正根据应用需求定制化的*的系统,充分满足科学家不同的需求。 软件特点 强大的软件功能,比如图像自动峰值校准,即时极性制图、图像到处和漂移校正等,提高您图像采集的效率和质量。开源程序使用Python语言编写, 专家用户可以自己二次开发全面定制属于自己的图像算法和硬件控制。
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