大口径高温高压芯片退火管式炉设备用于较大尺寸（最大尺寸为8英寸）衬底退火处理，设备采用电阻丝为加热元件，保温材料为氧化铝纤维炉膛真空吸附成型，保温性能好，电阻丝为内嵌式一体成型，美观、节能；该设备还集成了真空以及供气系统，满足更多工艺条件要求。采用耐高温金属管为高温炉管，满足高温工作条件，也能满足真空或者一定的正压条件实验要求，是一款洁净的大尺寸样品热处理设备。

设备型号：LFT1200C450D254

额定电压：380V

额定功率：13KW

最高温度：1000℃

额定温度：900℃

升温速率：10℃/min

热电偶类型：K型热电偶

控温精度:±1℃

极限真空度（选件）:1.0×10-3Pa（机械泵+分子泵）

加热元件：OCr27Al7MO2（掺钼铁铬铝合金）

炉管尺寸（可根据客户要求订制）：内径245*600mm（含管堵）

外型尺寸（长×深×高):1900*700*2100mm