超声波扫描显微镜_CCD / 光谱仪 / 探测器-香港电子器材有限公司手机版

详细介绍

美国 SONIX
超声波扫描显微镜

SONIX™公司是世界500强丹纳赫集团(NYSE: DHR)下的全资子公司，是超声波扫描检测仪和无损检测设备的制造商。自1986年成立以来，SONIX™在无损检测领域中不断改革创新，是家基于微机平台，提供全数字化成像方案的公司。 SONIX™ 一直致力于技术革新，提供给客的声学检测技术。

SONIX™ 设备被广泛应用于各种材料的无损检测，包括半导体，汽车零件和其他*元件。拥有独立开发的软件，硬件和技术，这么多年来通过和客户的不断合作，实现了SAM技术的持续改进。 SONIX™ 努力提供准确的数据，完美的图像质量，非凡的操作性和设备的高可靠性，从而为客户提高效率，节约成本。

SONIX 软件优势

™ 功能都包含的 Flexible TAMI^™ Gates

SONIX 硬件优势

● 紧凑、稳定的结构设计
模块化设计使得结构简单、稳定，易于维护

● 高速、稳定的马达设计
扫描轴的线性伺服马达，提供高速、稳定、无磨损的扫描

● 的超声波探头/透镜
提供精确的缺陷检验，小能探测到仅0.1微米厚度的分层。

● PETT技术
反射及透射同时扫描，有效提高元器件分析效率

封装检测设备

ECHO-LS™

ECHO-VS™

SONIX ECHO VS™ 是专为更高精度要求，更复杂元器件设计的新一代设备。广泛应用在 Flip chips，Stacked die，Bumped die，Bonded wafers 等。

● 高分辨率下，扫描速度是传统超声波扫描显微镜的2.5倍
● *的波形模拟器(Waveform Simulator)及波束仿真(Beam Emulator)
● 扫描分辨率小于1微米
● 水温控制系统及紫外杀菌系统超高频状态工作下，信号更稳定

ECHO Pro™
全自动超声波扫瞄显微镜

全自动生产型:

● 批量 Tray盘和框架直接扫瞄
● 编程自动判别缺陷
● 高产量,无需人员重复设置
● 自动烘干

晶圆检测设备

AutoWafer Pro™

SONIX AutoWafer Pro™ 是专为全自动晶圆检测设计的机型，主要应用在Bond wafer，MEMS 内部空洞、离层检测，TSV量测方面。

● 使用于200和300mm晶圆
● 符合一级净化间标准
● Cassette装载，全自动检测，支持FOUP或FOSB机械臂
● 支持200mm & 300mm SECS/GEM协议
● KLARF输出文件

Pulse 2™ 信号发生器/接收器
- 适合所有 ECHO & AutoWafer 设备

● 相对标准的信号发生器/接收器可获得 +12dB
● SNR比例(Signal-to-noise Ratio)具备4x 倍进展
● 从低层次的背景噪声中分隔信号
● 产生干净，清晰的图像，即使在超高频的信号转换器

超声波探头 - 适合所有 ECHO 系列

Sonix S-series Transducer 超声波探头是为了满足半导体制造商的高要求而设计的:-

● 自家研发
● 频率范围宽阔
● 结构坚固

可调的托盘夹具 (NEW !!)

配件编号: 600-5100
使用平台: ECHO LS, ECHO, ECHO VS
应用: 基板, 托盘, 晶圆

优点:
• 方便使用 - 节省时间
• 样品被很好的固定起来扫描, 可获得更好的图像
• 托盘, 基板, 晶圆均可使用
• 适用于现有的 ECHO 机型平台
• 申请中

透射杆扩展装置 (NEW !!)

配件编号: 中尺寸 (180mm) 组件编号: 600-2323A / 全尺寸组件编号 : 600-2324A
使用平台: ECHO LS, ECHO, ECHO VS
应用: 晶圆, 托盘, 基板

优点:
• 使用方便 - 安装简单, 节省时间
• 2种尺寸 (180mm and 250mm) 可满足绝大部分产品尺寸需求
• 适用与现有 ECHO 机型平台
• *需要 Sonix 新一代大直径透射杆

晶圆夹具 (与可调的托盘夹具搭配使用) (NEW !!)

配件编号: 600-5200
使用平台: ECHO LS, ECHO, ECHO VS
应用: 300mm 晶圆

优点:
• 可以简单的与 Sonix 申请中的可调的托盘夹具搭配使用
• 安全固定 300mm 晶圆, 提供的成像能力
• 适用于有翘曲的晶圆, 保持晶圆平整
• 适用于现有的 ECHO 机型平台

产品简介

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