5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉
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5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉

OTF-1200X-RTP-II-5R5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2021-05-12 16:18:59
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南京淳寅嘉生物科技有限公司

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产品简介

产品概述∶
OTF-1200X-RTP-II-5-R是一款5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉,其炉腔体是一直径为11英寸的石英管。此款设备专门设计针对于热蒸发或CSS(Close Spaced Sublimation)镀膜实验,其毂样台尺寸5x5“,并且顶部载样台可旋转,提高镀膜均匀性。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管(分别位于顶部和底部),最大升温速率为10°C/s 。

详细介绍

设备名称5英寸近距离旋转蒸发镀膜炉
主要特点

·快速升温,最高达10℃/s。

·最高温度可达800℃。

·由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部,两温度控制器进行独立控温。

·两样品台距离以及旋转均可通过触摸屏控制。

·顶部载样台可旋转。

基本参数

·工作温度∶最高800℃,两个加热区之间的最大温差为300℃

·最快升温速率∶ 10 ℃/s· 冷却速率∶ >10 ℃/s(800-300℃)

·真空度∶20Pa(机械泵),10E-1Pa(分子泵)

·控温精度∶+/-0.1℃(欧陆表)

· 加热元件∶红外灯管

·最大功率∶ 10KW(>50A保险)

· 热电偶∶ K热电偶

·超温和断偶保护

·设备电源∶ AC220V/50HZ 单相

加热元件和栽样台

·由两组红外灯管作为加热元件,分别位于顶部和底部· 两个加热台之间的距离可以通过直流电机调节(触摸屏控制)· 顶部载样台转速可调,0-10 r/min(触摸屏控制)

·为了减少热量辐射和达到较快的冷却速率,加热元件安装在带有水冷夹层的不锈钢壳体中(不锈钢壳体采用316不锈钢制作)·采用导热率较高的氮化铝陶瓷片(5"×5"×0.5mm厚度)作为载样台,以达到较好的加热均匀性

真空法兰

·真空法兰为316不锈钢制作

·顶部法兰(可通过控制盒进行上升和下降)∶一机械压力表

一KF16接口,可以安装防腐真空计两个不锈钢精密针阀用于气体的进出

·底部法兰∶

一KF25接口,可以与真空泵相连接法兰是通过两个硅胶o型圈进行密封

尺寸

790mm*600mm*1100mm

认证CE认证
质保一年质保期,终生维护(不包括密封圈、加热元件和石英管)
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