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产品型号 | 1800℃高温真空管式炉GSL-1800X-S | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头) 4、工作台:尺寸1200mm×600mm×700mm,承重300kg以上 5、通风装置:需要 | ||
主要特点 | 1、双层壳体,设有风冷系统,壳体表面温度<55℃。 2、采炉膛用高纯氧化铝纤维保温材料,且内部嵌有氧化锆板(厚度10mm,耐火度2300℃)。 3、PID控制器,可以设置30段升降温程序。 4、已通过CE认证。 | ||
技术参数 | 1、电源:AC 220V 50Hz/60Hz 2.5KW(需30A的空气开关) 2、氧化铝管:外径Ø60mm,内径Ø54mm,长790mm 3、加热元件:1900℃级硅钼棒 4、加热区域:300mm 5、工作温度:极限1800℃(<4h),连续工作1750℃ 6、升降温速率:5℃/min (<1600℃时),2℃/min(>1600℃时) 7、控温精度:±1℃ 8、热电偶:B型 9、真空度:10-2torr(机械泵),10-5torr(分子泵) | ||
产品规格 | 尺寸:590mm×490mm×760mm;重量:150kg | ||
标准配件 | 1 | 氧化铝管 | 1根 |
2 | 氧化铝管堵 | 2个 | |
3 | 不锈钢法兰 | 1套 | |
可选配件 | 1、铰链式法兰 2、数字真空计 3、KF25转接头 4、VCR双卡套接头 |