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产品型号 | 1700℃立式淬火炉GSL-1700X-80VTQ | ||
安装条件 | 本设备要求在海拔1000m以下,温度25℃±15℃,湿度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:不需要 2、电:AC220V 50Hz,必须有良好接地 3、气:如作为CVD系统使用,需自备气源(标准带有宝塔接头,可自费改制成为双卡套接头) 4、工作台:尺寸1200mm×600mm×700mm,承重300kg以上 5、通风装置:需要 | ||
主要特点 | 1、双层不锈钢壳体,并采用1800℃级高纯度氧化铝纤维绝热。 2、炉管配有绝热管堵,减少管内向外热辐射。 3、炉管顶部配装带有不锈钢针阀的密封法兰,底部配有闸板阀、真空计、KF25真空接口。 4、顶部法兰配有电磁铁,可悬挂质量约500g的样品,当按下温控单元上的电磁吸盘按钮时,样品就会坠入淬冷水箱 内。 5、采用下置淬冷水箱,便于立即淬火。 6、采用与炉体分离式的独立温控单元,PID控制器,可设置30段升降温程序,并内置超温报警保护装置,以及RS48 5通信端口。 7、已通过CE认证,所用电器元件(>24V)已通过UL、MET、CSA认证。 | ||
技术参数 | 1、电源:单相AC 220V 50Hz/60Hz 4KW 2、炉管:99.8%高纯度氧化铝管,内径Ø74mm,外径Ø80mm,长850mm 3、加热元件:4根1800℃级U型硅钼棒 4、加热区域:200mm 5、工作温度:极限1700℃(<1h),连续工作800℃-1650℃ 6、大升降温速率:1200℃以上时为5℃/min,1200℃以下时为10℃/min 7、控温精度:±1℃ 8、真空度:机械泵50mtorr,涡轮分子泵10-5torr | ||
产品规格 | 尺寸:1080mm×650mm×1500mm;重量:190kg | ||
标准配件 | 1 | 氧化铝管 | 1根 |
2 | 氧化铝管堵 | 4个 | |
3 | 不锈钢法兰 | 1套 | |
4 | 热电偶 | 1个 | |
可选配件 | 1、PC控制软件 2、不锈钢卡套接头 3、分子泵 | ||
注意事项 | 1、在释放样品前,必须先向炉管内充入5psi氩气,再打开闸板阀。 2、硅钼棒是在高温氧化性气氛下使用的。在高温氧化气氛中,其表面生成一层光亮致密的SiO2玻璃膜,能够保护硅 钼棒内层不再氧化。因此,不得在400℃-700℃之间使用,否则将会低温氧化致使毁坏。 3、气氛气体输入端必须装配减压阀。在连续通气时,输出压设置在3psi以下。若压力水平超过3psi将会对炉膛造成 不可逆的损害。 4、如若炉内是正压条件,且未开启放气阀时,切勿进行加热。在加热过程中要实时观测真空计,一旦炉内压力接近 3psi,请立即打开放气阀,避免不可预见的损坏。 5、气体的流量应限于<200SCCM(200ml/min)。 6、氧化铝管的真空极限定义为:在管内温度达到1500℃时为止,皆视为安全真空压力范围。 |