激光干涉平面度测量仪，采用掠入射光干涉原理，专注于高精密加工表面平面度快速测量评估, 广泛应用于半导体行业（Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、阀门密封件表面(Sealing surfaces)，以及光学工程，激光工程等领域。

产品特点：

◆ 非接触式平面度测量接触

◆ 高精密评估: ＜0.4µm

◆ 测量速度快: ＜3秒

◆ 可用于车间现场, 100%全检

◆ 平面度评估符合ISO/TS12781-1(FLTt)

◆ 三维形貌评估软件, 可支持CNC编程批量检测

◆ 表面自动识别系统, 或手动选择区域(圆, 圆环, 矩形区域)评估

◆ 数据采集量大, 一次完成对300,000点的评估

◆ 快速生成报告并保存为.csv数据格式, 支持Q-das等统计分析软件

◆ 广泛应用于抛光, 研磨或细磨精密表面, 像阀门盘, 密封环等

技术参数：