库赛姆COXEM桌面台式扫描电镜EM-30 PLUS 系统

设备构成
a.光学系统
光源：自动控制，发叉式钨丝阴极。
分辨率 ：5.0nm @30kV SE
放大倍数：20x – 150,000x
加速电压：1 kV - 30 kV（连续30档可调）
b.样品室系统
样品室：6个接口，可接配内外置EDS。
样品尺寸(大)：直径60mm， 高度45mm
c. 探测器系统
SE Detector 二次电子探测器
BSE Detector 背散射电子探测器（可伸缩的高灵敏四分割半导体背散射电子探测器）
d. 控制器
计算机系统
图像管理软件
e. 真空系统
隔膜泵：MVP 020-3AC
涡轮分子泵真空系统: 210 Liter/sec