主动隔振台-主动式隔振台-AVI600WORKSTATION

主动隔振台-主动式隔振台-AVI600WORKSTATION 是一款紧凑型有源隔振台，对升级和整合到现有的需要低频隔振功能的设备来说是理想的选择。AVI-600 WORKSTATION隔振台允许在一定的大小范围内增设额外的模块以用于支持更大的仪器载重量(9000磅) 。AVI-600 WORKSTATION 精密防震工作台也是支持纳米技术的解决方案。

产品特点：

• 主动隔振频率：1Hz – 200Hz
• 被动防振频率>200Hz
• 5-20 毫秒的响应时间
• 安装简单，容易使用
• 能连续使用多年
• 紧凑、模块化的多功能设计

产品应用：

• SEM
• TEM
• UHV-SPM
• 光刻
• UHV-SPM
• 隧道显微镜
• 大型的对震动敏感的仪器

主动隔振台-主动式隔振台-AVI600WORKSTATION产品优势：

• 系统主动检测输入震动并动态消除
• 六个角度自由隔振
• 内部反馈回路抑制所有机械共振
• 提供优秀的低频段隔振能力
• 无低频共振并没有空气要求

技术参数：

隔振范围：主动:1-200Hz ; 被动: >200Hz

传输率：超过 10Hz 的传输< -35 dB

模块尺寸：W 11.3” x D 28.4” x H 4.5” (AVI-600)

模块重量： 60 KG / 132 Lbs

静态柔度(每个模块)

垂直方向：约 12 μm / N

水平方向：约 6 μm / N

系统噪声：少于 50nG/√Hz

耗电量：27 W(典型配置)

输入电压：90 – 125 VAC / 200 – 250 VAC, 50 – 60 Hz

控制器尺寸：48 x 13 x 25 cm / 19 x 5.1 x 9.8”

性能监控：通过在示波器上显示的一个复用信号来表示是否带有隔振效果的震动等级

主动隔振台-主动式隔振台-AVI600WORKSTATION 可选型号：