PAL pro紫外激光系统都能够2、3、4倍频，产生在紫外波长的激光，我们的标准的101PAL激光系统和 PAL pro紫外激光系统的输出是简单和便于2、3、4倍频来产生248nm和193nm的脉冲激光，它可以*代替庞大具有有害气体的*，并有操作简单、耐用、寿命长等诸多优点。基于紫翠玉的激光系统，紫翠玉是由可调谐固体激光介质组成的，PAL系统可以连续调谐或在任何固定波长操作。PAL激光系统产生的激光有高的峰值功率和平均功率，它的基频波长范围是在720nm-800nm之间。

 有效的非线性频率转换过程提供了从真空紫外到近红外的完整的光谱覆盖范围，2、3和4次倍频，分别提供的激光范围在360nm-400nm、240nm-270nm、190nm-200nm的波长范围。所有其他波长的激光输出包括:紫外、可见、红外都是通过light aged技术高功率Raman转换器来实现的。

 特性：

1、可调谐范围跨过紫外区域，可代替193nmArF和KrF248nm的*。

2、具有固体激光器的简单可靠性。

3、光谱线宽小于30MHz在基频，在193nm线宽低于25飞米。

4、重复频率:10~30Hz

5、单纵模，输出波长稳定性<300MHz/天

6、M²<1.3

7、易于升级和维护，使用可靠的101PAL模块。

8、革命性的二极管注入种子光（DLIS）技术和ACLS技术