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采用岛津的x射线聚光透镜[集束毛细管透镜],x射线只照射样品的50μmφ微小领域,实现高灵敏度、高精度分析。
可以在大气中进行从轻元素到重元素(na~u:μedx-1300;al~u:μedx-1200/1400)的分析。
配备双ccd(高倍率,低倍率)摄像头,可以在观察样品图像的同时方便地决定分析位置,进行分析。
标准配备无标样定量fp法、薄膜成分/膜厚分析用的薄膜fp法以及可以测定聚合物薄膜的背景基本参数(bg-fp)法。
作为微区x射线荧光光谱分析装置,在世界上*配备了5种1次x射线滤光片自动交换机构,可消除来自x射线管的特征x射线,提高信噪比。
配备多元素同时/自动扫描成图功能。采用高速扫描成图,在短时间内便可获得图像(μedx-1200/1300)。追加透射观察单元(选购),也可进行透射x射线的同时测定。
配备电子冷却式高计数率检测器。无需液氮,可进行高精度分析。
可轻松地进行电子材料/部件的镀层膜厚測定、异物检测、失效解析及成图分析。
主机部分:
1、X射线发生器单元
X射线管
类型 Rh靶
冷却方法 空冷(附风扇)
2、X射线电源单元
电压 5-50kV,每步1Kv(测定重金属(Cd,Pb,Hg,Br,Cr等)时,可以用50kV。但测定轻元素时,15kV是***有效的。另在工作曲线法中,随时可设定***佳电压。)
电流 1-1000μA,每步1μA
稳定度 ±0.01%(外电压波动±10%)
保护电路 过电压, 过电流, 过功率,
3、一次X射线滤波片 5种自动交换
特点说明:不同元素应该采用不同的滤光片进行分析,这样才能有效降低背景,得到高准确度的测量数据。EDX-720进行元素分析时可以自动判断元素和更换相应的滤光片,无须手动更换
检测器部分:
1、检测器
类型 Si(Li)检测器
液氮 只有在分析时添加
液氮消耗 少于1L/天
检测面积 10mm2
分析元素 Na-U
分辨率 :小于150电子伏特
特点说明:采用液氮制冷方式的检测器具有高分辨率,可以避免元素谱线之间的干扰,从而保证高准确度的分析。在性能、实绩、稳定性上,Si(Li)半导体是对性的实绩(岛津检测器是自己生产,在万一发生故障也迅速对应)。 掘场按振动检测器的性能下降。 精工较差的Si-PIN半导体分辨率为220eV、在分析树脂中的Cd、Pb时,容易受到Br和Sb等共存元素的干扰、并有时不能检出,还有因为是低强度,在测试金属中有害元素的感度也差。
2、计数单元
放大器
拟合时间 10μ秒
增益变化 高/低
多道分析器(MCA)
变频型 顺序比较ADC
道数 2048道
大计数率 232-1/道
样品室与测定室部分:
1、样品室
二手岛津X射线荧光光谱分析仪EDX-700HS,二手荧光光谱分析仪盖子 自动开启/关闭(带安全系统)
每次测定时盖子自动上升与下降。
大样品尺寸 300mm 直径 x 150mm高
二手岛津X射线荧光光谱分析仪EDX-700HS,二手荧光光谱分析仪(特点说明:样品室自动开启,样品盖子的结构设计有效避免X光的泄露,满足日本及中国X射线的泄露控制标准。超大型的样品室可以容纳大型的部件直接放入测试,无须切割)
2、测定室
X射线照射面积 下照射
光栏直径 1、3、5、10mm可选
特点说明:不同的分析面积采用不同尺寸的光栏,可以保证各种大小样品的高精度测试。
测定室开孔 13mm
3、测定气氛:大气
4、CCD观察定位系统
配备CCD数码观察系统,可以准确定位分析区域。