1. LDLS的光谱范围是多少？

LDLS光谱范围是170-2400nm，这个范围是由高纯度的人工合成石英的输出窗口限制的。在UV-VIS-IR波段范围光辐射强度均优于传统的氘等和氙灯，光辐射强度图详见下图：

2. LDLS的输出总功率和亮度是多大？

LDLS是经过优化的，主要体现于高亮度上，而不是高功率。LDLS输出光从非常小的100μm的PLASMA斑辐射出来，这就形成了非常高的亮度(spectral radiance - mwatts/nm/mm2/sr)和适当的功率（Watt），LDLS的输出值如下.

通常情况下，EQ-99 提供约10mwatts/nm/mm2/sr的光谱辐射亮度（亮度）（取决于波长）和约0.5W总功率。

通常情况下，EQ-77 提供约30mwatts/nm/mm2/sr的光谱辐射亮度（亮度）（取决于波长）和约2W总功率。

通常情况下，EQ-400 提供约100mwatts/nm/mm2/sr的光谱辐射亮度（亮度）（取决于波长）和约15W总功率。

3. EQ-99XFC使用什么类型的光纤连接器？

EQ-99XFC 带有FC连接器；厂家标配一根光纤跳线，可选端口有FC-FC，FC-SMA。强烈推荐使用原厂高性能，高紫外寿命光纤。

4. EQ-99XFC 提供的功率是多少？

这取决于所选择的光纤的尺寸，传输特性和波长。典型的输出功率如下; ? 600 um corefiber, 0.22NA; ~200 mwatts (broadband)

? 455 um core fiber; 0.22NA; ~150 mwatts (broadband)

? 230 um core fiber, 0.22NA; ~70 mwatts (broadband)

? 115 um core fiber, 0.22NA; ~25 mwatts (broadband)

? 50 um core fiber,0.22NA; ~5 mwatts (broadband)

? 9 um core single mode fiber; ~40 μwatts (broadband)

5. EQ-99XFC 提供的光谱功率是多少？

这取决于所选择的光纤，波长范围和光纤特性。典型的有230μm直径，0.22NA光纤，如下图表所示：

对于较大直径的光纤，图表中的光谱功率值可以乘以以下因数： 230μm 乘以 1 ；450μm 乘以 ~ 2 ；600μm 乘以 ~ 2.25。

6. 电源和灯室之间的光纤有长度限制吗?

标准光纤长度为1m。目前，较长的光纤效果是不好保证的，不能提供定制。

7. 灯室输出光纤有长度限制吗？

Energetiq 提供的输出光纤高性能、 耐日晒，光纤直径可选，光纤长度可选 1 米和 2 米。

8. LDLS中等离子体的空间稳定性如何？

因为驱动激光的聚焦特性使等离子体的位置也可以精确定位，等离子光强度的质心位置在 x、 y 或 z 轴上偏差小于 0.5 μm。这是以每秒200帧的速度捕获2500张图像测量出的。

9. LDLS功率长期漂移特性？

主要由光源温度系数决定，大约为0.3％/deg C.这个温度系数在数小时内会是大多数系统偏移的主要原因。 需在测前预热30分钟以保证LDLS达到热平衡，实际时间需看应用的领域以及所需准确度而定。

10. 灯泡寿命对输出功率有什么影响？

每工作1000小时，输出功率减少大约1％~2％。

11. 灯的寿命有多长？

EQ-99X系列灯寿命大于9000小时；EQ-77和EQ-400的灯寿命也大于9000小时。

12. LDLS的驱动激光功率多大？

EQ-99X 和 EQ-99XFC使用一个总功率约20W的1μm半导体激光；EQ-77使用一个总功率约80W的1μm半导体激光；EQ-400使用一个总功率约500W的1μm半导体激光。

13. EQ-99 系列和新的EQ-99X 系列有什么区别？

EQ-99 系列和 EQ-99X系列用的同样的技术，但是 EQ-99X可以提供更好的长期稳定性与工作寿命。EQ-99X-FC使用光纤保护技术（使用某一特定磁场）改善长期深紫外输出。 EQ-99X 系列产品线包括EQ-99X和EQ-99XFC。

14. LDLS等离子体的尺寸？

EQ-99X为60μm×140μm（半高全宽）；EQ-77为125μm×300μm（半高全宽）；EQ-400约为400*1000μm（半高全宽）。

15. LDLS输出光束特性？

EQ-99X是光源，发散光，数值孔径0.47（自由空间光准直）； EQ-77和EQ-400是光源，发散光，数值孔径0.5（自由空间光准直）；EQ-99X 配有光准直配件（OAP-离轴抛物镜）将光转换至单色仪或光谱仪；焦距（OAPM)可选；EQ-99XFC光纤耦合输出数值孔径0.22

16. LDLS需要连接到单色仪和光谱仪时，OAP怎么设置？

EQ-99X有4种不同的OAP选项。注意OAP组件的数值孔径（NA）应比单色器或分光计的入口NA略少。而F /＃的OAP组件应比入口系统的F/＃稍大，以有效地耦合到系统中。

17. EQ-99X光源工作时温度是多少？

典型实验中，EQ-99X 和 EQ-99XFC 灯室温度大约可至55℃。其主要由光源位置及搭建方式决定，环境温度高则灯温度高。金属散热架构会使光源温度降低。EQ-77和EQ-400使用水冷，可以降到设定的温度

18. 何时需要用干燥的氮气清洁LDLS，气压为多少？

LDLS产生大量深UV光，小于200nm的部分会使氧气变为臭氧，臭氧又吸收240~270nm的光。当LDLS输出的光在170~270范围内，LDLS需用氮气清洁。氮气清洁等级为6或更高的气体纯度，且气体＜5um，使用压强＞0.14MPa，气体耗量为1slm，无杂气回流，氮气会直接将其压出光源室，且只能使用干燥的过滤后的氮气，不可使用其他气体；也不能使用真空室代替。

19. EQ-99X 和 EQ-99XFC 光源放置方向？

EQ-99X 和 EQ-99XFC 只能将标签（序列号）朝下放置。EQ-99XFC更是如此，因为输出光纤在顶部，且等离子体会受重力以及准直的影响，所以在特定的放置方向参数会。强烈要求按推荐方向放置；如由于光学原因必须改变位置，则需和我们联系讨论解决方案。

详细文本资料和解决应用方案请联系上海屹持光电技术有限公司

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