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TMC STACIS® III 压电主动隔振光学平台
zui,初被设计用于*半导体工厂的精密显微光刻、计量和检测设备振动隔离, STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案,它广泛应用于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。
Stacis III包括一个新型改进的数字控制器—DC-2020。它搭载 zui,新 gao,效 的双核处理器,前后面板上都配备以太网和U,S,B串口,新型*控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。
Stacis III在世界各地有数百个成功安装案例,对于大部分振动敏感仪器来说都是 zui,理想 的振动消除系统。
TMC STACIS® III 压电主动隔振光学平台
特点&优点
1、从0.6Hz开始隔离振动,1Hz时可隔振40%到70%
2、2Hz时在高度、水平和垂直三个方向上提供超过90%的振动隔离
3、减少工厂地板铺设成本,使设备能够安装在较强振动环境中
4、主动带宽:0.6Hz到150Hz
5、设备制造商竭力推荐
6、六自由度活动硬性底座设计,无气浮支撑
7、鲁棒控制系统,不需要预先调适
8、可与设备内置隔振系统兼容
9、当环境振动水平随时间增加时,确保设备满足自身的振动标准
10、利用TMC Stacis®技术通过压电陶 瓷致动器来消除振动
11、带有基于计算机的图形用户界面 (GUI)的数字控制器
12、在旧的、有噪音的地板上也可以 安装使用
13、兼容各种地板的高度和类型
14、TMC关注Stacis III隔振性能,提供 全面的售后服务
15、通过ROHS认证
性能特性