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TMC 有源磁场抵消系统 Mag-Netx

时间:2020-04-20      阅读:608

  Mag-NetX 主动式消磁框架系统,设计用于任何带电束仪器,是一种创新的主动控制系统,可补偿磁场波动。通过带数字接口的模拟控制器,Mag-NetX具有更实时的消振和连续监控功能,同时为用户提供了一个简单的内置LCD或基于PC的图形用户界面(GUI)。通过连续监控GUI显示的测量字段,可在不依赖于显微镜图像的情况下进行微调。另外,自动调整使典型SEM应用的启动变得更加简单。
 
  在电镜的工作环境里,不可避免的会遇到附近的仪器设备、电梯、输电线、地铁等所产生的电磁场,从而影响到电镜的成像质量和测量精度。Mag-NetX 主动探测仪器周边的磁场环境,实时产生一个等量且反向的磁场。Mag-NetX 是一个quan方位的 3 轴磁场消除系统,包含一个具备自动校准和自检功能的控制器,交流和直流磁传感器,一个框架结构的亥姆霍兹线圈。这样的框架结构可以提供*的磁场隔离对称性和均匀性。
 
  Mag-NetX 主动式消磁框架系统的框架可以根据仪器规格、现场情况、客户要求等设计制作成不同的尺寸。可以满足您的扫描和透射显微镜、电子束光刻和离子束仪器在磁场补偿和振动控制方面zui苛刻的要求。
 
  特点:
 
  带数字接口的模拟控制器 -亥姆霍兹型线圈的模拟控制可以实现精确的实时消振。LCD面板为用户提供易读的LCD读数或基于PC的图形用户界面(GUI)。
 
  现场调整的灵活性 -在启动时针对典型环境和应用进行自动调整。
 
  连续的磁场监控和隔离
 
  动态 100 us响应
 
  AC 和 DC 磁场隔离模式
 
  通常可改善环境磁场 100 倍
 
  辅助输入数字式前馈
 
  自检索自适应模式,“开机后自适用”
 
  多种尺寸和安装方式:落地笼式框架
 
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