四探针电阻率检测仪型号：BT-300H
 

　　四探针测试仪是根据四探针测试原理研究成功的多用途的综合测量装置，它可以测量棒状、块状半导体材料的电阻率和半导体扩散层的薄层电阻进行测量，可以从10-6--105Ω—cm全量程范围检测硅的片状、棒状材料的电阻、薄层电阻，是硅材料质量监测的必需仪器。
 

　　仪器主要技术指标：
 

　　1.   范围：电阻率10-4—103Ω—cm，可扩展至105Ω—cm，
 

　　分辩率为10-6Ω—cm
 

　　方块电阻10-3—103Ω /电阻10-6—105Ω
 

　　2.  可测半导体尺寸：直径Φ15—150mm
 

　　3.  测量方式：轴向、断面均可(手动测试架)
 

　　4.  数字电压表(1)量程0.2mV、2mV、20mV、200mV、2V
 

　　(2)测量误差 0.2mV档±(0.3%读数+8字)
 

　　2 mV档以上±(0.3%读数+2字)
 

　　(3)输入阻抗0.2mV、2mV挡105Ω
 

　　20mV档以上>108Ω
 

　　5.  恒流源：(1)电流输出：直流电流0—100mA连续可调，由交流电源供给
 

　　(2)量程：10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 五档
 

　　(3)电流误差：±(0.3%读数+2字)
 

　　6.四探针测试探头  (1)探头间距：1mm   (2)探针机械游率：±0.3%
 

　　(3) 探针：Φ0.5mm