Huace-6 中端探针台_探针台-北京华测试验仪器有限公司手机版

详细介绍

Huace-6 中端探针台

产品简介：

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。

产品特点及应用：

◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等；

◆ 可用于8英寸以内样品测试；

◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动；

◆ 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动；

◆ 可升级做射频，大电流方面的测试和激光修复应用；

技术参数：

台体规格
尺寸	4英寸/6英寸/8英寸
水平旋转	可360°旋转，可微调15°，精度0.1°，带角度锁死装置
X-Y移动行程	4英寸×4英寸/6英寸×6英寸
X-Y移动精度	10μm/1μm
样品台Z轴调节	可升降10mm
样品固定	真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环
针座平台	U型针座平台，zuiduo可放置6个探针座
背电极测试	样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极
外形尺寸	400mm长400mm宽600mm高/580mm长480mm宽600mm高
设备重量	约20KG

光学系统
显微镜类型	单筒显微镜/体式显微镜
放大倍率	16X-200X/20X-4000X
移动行程	X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm
光源	外置LED环形光源/同轴光源
CCD	200万像素/500万像素/1200万像素

定位器
X-Y-Z移动行程	12mm12mm12mm
移动精度	10μm/2μm/0.7μm/0.5μm
吸附方式	磁力吸附，真空吸附
线缆	同轴线/三轴线
漏电精度	10pA/100fA/10fA
固定探针	弹簧固定/管状固定
接头类型	BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子
针尖直径	0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm
针尖材质	钨钢；铍铜

可选附件：

加热台；
显示器；
转接头；
射频测试配件；

屏蔽箱；

光学平台；
镀金卡盘；
光电测试配件；

高压测试配件；

显微镜快速倾仰装置；

激光系统；

探针卡夹具；

探针台可根据客户要求定制。

Huace-6 中端探针台