微型真空探针台是一款专门用于材料电学表征和测量的微型桌面型电学测量台，主要用于介电、压电、铁电、热释电、光电等材料的电学性能表征和测量，还可以在真空、气氛环境下对材料进行电学测量评估，是实验室测量薄膜材料电学材料bibei工具，广泛用于高校、科研、航天航空、军工院所等领域。

功能特点

1、无人机外观设计开发，让低温探针台更加小巧精密；

2、XYZ三维移动平台的开发，位移最小分辨率10um以下；

3、电声制冷机制冷加热一体化平台应用开发；

4、液氮制冷加热一体化平台应用开发；

5、利用机械弹性设计，低温环境下也有弹性，避免在探针压薄膜样品是损坏薄膜；

6、实现-160℃~450℃的制冷和加热测量环境，控温精度达到±0.5℃；

7、采用1000X放大镜显微镜设计，有利于实时观察样品的测量状态；

8、广泛用于复杂、高速器件的精密电器测量，可靠性高；

9、高低温平台、测量夹具、测量软件等集成于一体，让操作变得简单；

10、可以通过USB传输数据，数据格式为Excel格式。

应用：晶圆、芯片、LED测试、场晶体管、IGBT、分立器件等测试类型：IV/CV测试、RF测试、光电测试等搭配仪器：吉时利2400系列、4200系列、安捷伦B2900系列、1500系列等特点：超高真空环境、避免氧化、结霜，77K-675K温度测试范围，外置探针臂操作更稳定、精准，可兼容不同类型显微镜满足不同观察要求、可满足光谱测试、液氮开循环制冷，降低研发成本，模块化设计、后期可无缝升级配置。

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