特点：一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪+高精度原子力显微镜
 
白光干涉
 
白光干涉能够进行高分辨率图像的扫描，对表面进行分析。两种工作模式-相移和白光扫描模式,能够高精度测量粗糙或者光滑的样品表面。
 
?      好的技术来实现高Z向分辨率
 
?      白光干涉法和相移两种模式实现Z方向的高分辨率。
?      快速图像处理系统达到400万像素
?      四色LED相机
 
?      更大的垂直测量范围达10毫米
 
?      150 mmx150mm马达控制平台。
 
?      样品粗糙度，粗糙表面高度抛光后的光洁度以及表面结构测量，如陶瓷、塑料和辊钢。
 
?      SPIP专业数据分析软件
 
原子力显微镜
 
探针式轮廓测量能够进行材料在纳米尺度水平的测试。提供扫描范围70 x70um，探针更换简单。
 
?      好的技术来实现Z和XY方向上的高分辨率
 
?      X,Y和Z方向上纳米级的分辨率和精度。
?      线性XY压电陶瓷扫描
 
?      包括振动和不振动的模式
 
?      可选的侧向力和相位模成像