SU5000-场发射扫描电子显微镜热场式_电子显微镜-似空科学仪器（上海）有限公司手机版

详细介绍

SU5000 场发射扫描电子显微镜热场式

特色

高性能电子光学系统

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选配附件

SU5000 场发射扫描电子显微镜热场式规格

项目		内容
分辨率		1.2 nm @ 30 kV 3.0 nm @ 1 kV 2.0 nm @ 1 kV 减速模式1 3.0 nm @ 15 kV 低真空模式2
放大倍率		10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素) 30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
电子光学系统	电子枪	ZrO /W 肖特基式电子枪
	加速电压	0.5 - 30 kV (0.1 kV 步进)
	着陆电压	减速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1
	大束流	> 200 nA
探测器		低位二次电子探测器
低真空模式*2		真空范围: 10 - 300 Pa
马达台	马达台控制	5 - 轴自动 (优中心)
	可动范围	X：0～100mm Y：0～50mm Z：3～65mm T：-20～90° R：360°
	大样品尺寸	大直径: 200 mm 大高度: 80 mm
选配探测器		高分辨率顶位二次电子探测器＊1 高灵敏度低真空探测器 (UVD) 5分割半导体探测器 (PD-BSD)*3 能谱仪 (EDS) 波谱仪 (WDS) 背散射电子衍射探测器 (EBSD)

*1：

减速功能（包含高分辨率顶位二次电子探测器）

*2：

低真空功能（包含5分割半导体探测器）

*3：

空压机(本地采购)

应用案例

样品: 氧化锌粉末
着陆电压: 1 kV ; 倍率: 120,000x
低电压下顶位二次电子探测器成像

样品: PTFE
加速电压: 3 kV ; 倍率: 13,000x
UVD探测器可在低加速电压(3 kV)和低真空
(40 Pa) 下获得高质量图像