技术指标：

* 集成控制器、扫描器、样品台与防震隔声装置与一体的扫描隧道显微镜系统；

* 扫描器XY向测量范围：500nmX500nm

* 扫描器XY分辨率：7.6pm分辨率；

* 扫描器Z向测量范围：200nm

* 扫描器Z向分辨率：3pm；

* 大电流：100nA；

* 马达控制自动逼近；

* 样品台尺寸: 10mm直径；

* 大样品厚度3mm；

* 测量模式：恒电流模式与等高模式；

* 谱线测量模式：电流-电压曲线， 电流-距离曲线；

* 采样成像点数大2048X2048；大谱线测量点数32768；

* XY斜率补偿功能：硬件补偿，保证样品倾斜的准确测量；

* 软件测量及分析软件；

* 自带防震大理石机构与阻尼防震基座；

* 软件接口：USB接口，与台式机或笔记本即可联用工作，多系统支持；