产品介绍

应用参数

基础研究、地质分析、半导体分析、同位素比值研究

样品种类：

半导体材料、透明玻璃、石英、金属材料

产品综述

Excite Pharos 飞秒激光剥蚀系统是目前市场上非常好用的激光剥蚀系统。它配备有一个结构紧凑且密封的工业级准直激光器。该系统可配置1028nm、257nm和206nm波长的激光器,若有需要也能设计使用其他波长的激光器。Excite Pharos 飞秒激光剥蚀系统能够实现10 J/cm2 (1028nm)、5 J/cm2 (257nm)和3 J/cm2 (206nm)的能量密度。*稳定运行情况下，该系统剥蚀稳定度RSD能达到0.1%。

Excite Pharos 能够与HelEx II样品池相互配合，以提供一个快速、持续、稳定的冲洗和剥蚀环境。

Teledyne Photon Machines 公司拥有University of Michigan 提供的许可，提供飞秒激光剥蚀系统用于化学分析，涉及U.S. patent 5,656,186 and U.S. Reissue Patent RE 37,585。与这些University of Michigan相关的的侵权问题的保护也涉及到使用该技术的Teledyne Photon Machines 公司的用户。

性能参数

l  Light Conversion Pharos 2mJ或者Pharos SP 1.5 mJ

l  激光波长：1028nm、257nm、206nm

l  脉冲持续时间小于190 fs - 10 ps

l  脉冲能量能达到2mJ

l  可调的脉冲频率：1Hz - 200kHz

l  波长转换范围广（谐波发生器、OPA、NOPA、连续发生器）

l  只有一次光学折射，用于展宽小脉冲

l  每一波长都有独立的光路

l  独立的摄像机和激光光学组件能够更好的查看样品剥蚀点

l  从1 - 65微米连续可调的光斑大小

l  与HelEx II型主动样品池兼容

l  集成的冷却系统，减少碳排放