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热式气体质量流量控制独立模块
适用于OEM模块集成的结构极其紧凑的高性能气体质量流量计和控制器；
从用来测量单一气体的结构极其紧凑的气体质量流量计和控制器，到用来测量和控制多种气体高度集成的定制阀组，Axetris全新的MFM / MFC 2000系列产品都能满足这些需求。
技术优点：
基于MEMS技术
极其紧凑的尺寸
高精度
快速响应时间
多种气体/多量程
模块化
的*稳定性
主要应用：
分析仪器
气相色谱仪
泄漏检测
单一或者多种气体的计量和控制
标定和质量控制
薄膜工艺控制
