脉冲激光沉积系统 PLD 真空泵组_氦质谱检漏仪,质谱分析仪-伯东企业（上海）有限公司手机版

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涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD

脉冲激光沉积系统 PLD 可用来制备金属和各种物质薄膜, 甚至还用来制备一些难以合成的材料膜. 为了提高 PLD 系统的真空度和加快抽空时间, 经过伯东*选用分子泵+分子泵组串联组合的形式来提高系统的真空度. 更快达到其使用要求.

涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD 客户案例一: 上海伯东某客户选用美国相干 Coherent 公司出产的 COMPexPro205 型 KrF 激光器, 用于原位生长不同材料的多层薄膜. 通过伯东*采购 2台涡轮分子泵组 Hicube 80 Eco

涡轮分子泵组应用于脉冲激光沉积系统 PLD 客户案例二: 某大学采购铠柏科技 Adnano PLD 系统, 使用伯东 Pfeiffer 分子泵和涡轮分子泵组.

上海伯东德国 Pfeiffer HiCube 80 便携式分子泵组, 可以有效提供原有的真空度水平至半个数量级或加快抽空时间！
上海伯东 Pfeiffer 分子泵组 HiCube Eco 技术规格

泵组型号	进气法兰	分子泵型号	抽速氮气l/s	极限真空 hPa	前级泵型号	前级泵抽速 m³/h
Hicube 80 Eco	DN 40 ISO-KF	HiPace 80	35	1X10-7	MVP 015-2	0.5
	DN 63 CF-F	HiPace 80	67	1X10-8	MVP 015-2	1
	DN 63 ISO-K	HiPace 80	67	1X10-7	MVP 015-2	1

Pfeiffer 涡轮分子泵组整体模块化设计, 内部集成前级泵和分子泵, "即插即用", 抽速范围 35 至 685 L/S, 极限真空 5X10-10 hPa, 提供经济型分子泵组 ECO, 标准型分子泵组 Classic 和高性能涡轮分子泵组 Pro 满足不同应用, *搭配 Pfeiffer 真空计共同使用.
脉冲激光沉积系统 PLD 真空泵组
脉冲激光沉积系统 PLD 真空泵组
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