世界可见光及电子光学的----德国蔡司公司始创于1846年。其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个*：

Ÿ  *台静电式透射电镜 （1949） 

Ÿ  *台商业化扫描电镜 （1965） 

Ÿ  *台数字化扫描电镜（1985） 

Ÿ  *台带有成像滤波器的透射电镜 （1992） 

Ÿ  *台场发射扫描电镜（1990） 

Ÿ  *台具有Koehler照明的 200kV 场发射透射电镜（2003） 

Ÿ  *台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜（2003）

CARL ZEISS其前瞻性**的设计融合欧洲*制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的*地位。自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜（FIB and SEM）、透射电子显微镜等全系列解决方案。。其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到*广大用户的信赖与认可。作为电镜标准*的CARL ZEISS将一路*电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。

    源于德国卡尔•蔡司SMT部门的LIBRA 120是一款全新的能量过滤式透射电子显微镜（EFTEM），它可以更快、更可靠、更为稳定的方式为您提供专业性的超微结构及超纳米结构分析。

   LIBRA 120采用了改进的120kv的加速电压、OMEGA镜筒滤波器、*的科勒式照明系统以及可控数字化电子光学系统，结合了*可重建电子功能和创新的WinTEMTM图形用户界面（ GUI ）控制系统。这使得LIBRA 120成为一款杰出的能量过滤式透射电镜，可以为您提供zui为*的成像结果，元素分析，低剂量和远程控制三维实验等功能。

LIBRA 120性能特点及技术优势

●灵活性*的科勒式照明系统

科勒式照明系统在TEM、spot、STEM和衍射模式下均可实现自动化、可重复性和优化光照条件。

●OMEGA内置镜筒能量过滤器

为增强图像的反衬效果，LIBRA 120 在EELS 系统中加入了元素分析及优化能量分辨率功能。

●高度集成化的电子板

高度集成化的电子板集合了电子光学参数的可控性、坚固性以及zui大限度的稳定性等优势。

●WinTEMTM图形用户界面和符合人体工程学的控制面板

方便用户操作。

●开放式战略

支持所有的图像格式、适用所有的摄像机和探测器，能够zui大限度的满足客户的检测要求与应用  

●数字化电子光学系统

远程控制和高度重复再现能力。 

●EDX元素分析                          
可对EELS和ESI / EFTEM能够分析的元素以外的所有元素进行分析。

●TMP基于*的无油真空系统

高吞吐量、低污染率和快速抽真空

●高精度± 75 °倾斜载物台

高精度和稳定性 

WinTEMTM

TEM提供了一种更为直观的和符合人体工程学的用户界面。

LIBRA系列提供了一个*的外观设计——图形用户界面（ GUI ） ，已广泛应用于各种扫描电镜和FIB仪器等领域中。图形用户界面的设计，使用户可以*专注于他们的研究领域并且即使是在低照明的工作环境下也可对多功能的EFTEM设备进行操控。

多用户功能

WinTEMTM软件可以进行多用户操作，每个用户都可以设定自己的管理界面，在用户登录后，就可以找到属于自己的存储信息和显示数据。

（5）

方便直观控制系统

人体功程学设计

LIBRA 120通过两个控制面板就可以对WinTEMTM软件进行操作，它可以放置在桌面的任何位置并可进行多用户操作。低光模式下，背光旋钮和计算机屏幕呈现荧光绿色，方便用户操作，这充分展现了LIBRA 120系列的人体功程学原理。

软件体系结构和远程控制

该WinTEMTM控制软件是基于客户端的验证服务器架构的：由EM服务控件和EFTEM构成 。用户（客户端）是通过图形用户界面的WinTEMTM和两个硬件控制面板来实现互动的。

采用程序编程接口（ API ）可以实现网络远程操作。通过德国卡尔•蔡司SMT服务中心可以实现从连接EFTEM到不同实验室的高速、实时控制检测和分析。

（6）

ESI-电子光谱成像： 
一分钟内便可*检测到样品元素的分布

（7）

克勒式照明系统： 
内置式、简单易用、多选择性，降低对样品表面的损伤

（8）

柯勒式照明： 

可自由选取衍射（ SAD ）的zui小领域

（9）

LIBRA 120 技术

内置OMEGA能量滤波器

LIBRA 120能源滤波器位于两个投影组之间并采用对称性设计（ Lanio型），可对二次相差进行优化。它由四块磁铁和*的hex pole /quadrupole校正元素，它们位于光谱仪的对称面上。一个带有可变孔径光阑的能量分散板被设置在第二个投影系统前。任何介于0和3500 eV之间元素成像的电子能力的损失，具体的电子能量损失介于的元素图像可以被选择的界定增加小学高张力，恰恰对应能源损失的部分利益。因此的路径选择的电子能量损失总是轴向，激发的成像系统和光谱保持不变，和的立场狭缝孔径始终保持不变。任何介于0到3500ev的电子能量损失对于能量核磁共振成像来说都可以通过高速电压来实现，这正与能量的损失相*。因此，电子能量损失的路径总是在纵轴上，而成像系统、分光计以及光学孔径总是恒久不变。

   OMEGA过滤器从纯粹的意义上来说就是磁谱仪，因此他的好处就在于可以不受任何限制的为显微镜提供加速电压。虽然有其固定的生命周期，但却不需要任何特殊的操作技能。

通过预先设置能量范围，计算机进行控制扫描，光谱就可进行自动记录。

（10）

科勒式照明系统

聚光镜的设置

科勒式照明系统包含了四个透镜组：聚光镜1-3和聚光镜-物镜（C-O）前场透镜、几个偏转线圈和扫描线圈，一个（可以是两个）多孔的聚光孔径光阑以及一个单一的聚光镜孔径光阑、 

使用的自动照明系统（AIS）根据需要的放大倍数来选择适当的聚光镜孔径光阑。确保获得一个均匀的完整的照明视野。对于低放射剂量和衍射应用分析，可以手动选择聚光镜孔径光阑来限定照明区域。

优势所在

照明系统所具备的zui高性能以及zui大限度的灵活性是成像质量达到*效果的*途径。只有完善的柯勒式照明系统才具备以下突出优势：

●光学校正照明要求光束平行的照射到样品点，即使光束被转换或倾斜也能保持平行。

●无论采取何种发射方式，科勒式照明系统都能够确保相同的宽视场照明。

●优化样品保护，依据不同的放大倍率，聚光镜孔径光阑进行自动调整，使其直接成像到样品表面并准确界定其照明区域。

●分别调整照明区域和照明孔径角（亮度）。22级亮度步进式调整，允许自动精确剂量校准

●简单的按钮操作便可实现对光斑大小的限定。 只有调整第三聚光镜的励磁，才可以在照明区域的中心位置呈现出聚焦的小圆斑点。

●无需辅助镜头，因为前场物镜的后焦平面一直保持在任何照明条件下提供zui为严格的平行光束照明到样品表面。 

●当能量损失值发生改变时，系统可对照明参数进行自动校正

（11）

电子光学系统

电子光学镜筒

全新升级LIBRA 120采用了超级数字化理念设计的电子光学镜筒，配置了内置式OMEGA能源过滤器和三透镜式科勒聚光镜系统。进一步降低了物镜的色差系数、改善了透镜线圈、提高了电子束的稳定性、使聚光镜及孔径光阑更加灵活稳定。带有能量选择光阑的电子束路径如右图所示。

物镜

科勒式照明系统支持在物镜前场透镜的后焦平面处连续成像，且无需额外的迷你透镜获得平行光照射样品点。无论采用spot、衍射、宽视野成像模式，聚光镜孔径光阑限定的照明区域和物镜透镜电流都保持不变。无需做任何调整即可实现重复观察和控制模式的快速转换。样本总是被固定在载物台的eucentric轴上，同时位于物镜的对称区域。其大孔缝隙允许高倾斜角度，适合于各种探测测器或低温显微镜anticontamination 刀口。