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晶圆测温系统TC-WAFER光刻晶圆温度测量系统

时间:2023-09-11      阅读:406

晶圆测温系统TC-WAFER光刻晶圆温度测量系统

TC-Wafer晶圆测温是将高精度温度传感器镶嵌在晶圆表面,对晶圆表面的温度进行实时测量。通过晶圆的测温点了解特定位置晶圆的真实温度,以及晶圆整体的温度分布,同还可以监控半导体设备控温过程中晶圆发生的温度变化,获得升温、降温以及恒温过程期间的温度温度数据,从而了解半导体设备的温度均匀度。

作为一家专业的传感器生产厂家,智测电子不仅拥有全套传感器生产、加工与检测设备,还能为用户提供定制化的解决方案。

其产品优势在于软件功能优异,能够实现高精度多通道数据采集、数据统计、趋势绘图和数据导出等功能。智测电子生产研发的TC-Wafer晶圆测温,其温度范围广泛,智测电子的产品设计考虑到了用户的实际需求,传感器引线可定制,且采用了硅基胶粘剂和焊接技术,使其具有更好的性能和可靠性。

总之,智测电子的高精度温度传感器不仅在技术上具备优势,而且在服务方面也能够为用户提供专业的解决方案。无论是在半导体装备、航空航天、智能制造、高校实验室、计**所、生物技术等行业,智测电子都能够为用户提供高品质的产品和服务,满足用户对高精度测温的需求。

晶圆测温系统TC-WAFER光刻晶圆温度测量系统

高精度晶圆测温、热电偶晶圆温度检测

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