NM，    绝对⽆磁版本；

.HV，     ⾼真空版本 ;

.UHV ，超⾼真空版本；

1        底⾯尺⼨*⾼度

25 × 25 mm × 8 mm

2        主体材料

不锈钢

纯钛

不锈钢

不锈钢

3        线缆 & 接头

标准屏蔽线缆

DSub9 接头

kapton漆包线，

PEEK-2mm插针

运动参数-空间推荐安装形式 I.  (下列性质均在推荐安装形式下测得)

4        运动⾏程

8 mm

5        最⼤速度

~ 20 mm/s

6        最⼩步伐

⼩于 15 nm

7        驱动频率

Max. 20 kHz   (超安静运动)

8        最⼤⽔平推⼒

2 N

9        保持⼒

5 N

0.3 mrad / 0.2 mrad

10       全⾏程俯仰/偏摆

运动参数-空间推荐安装形式 II.  (下列性质均在推荐安装形式下测得)

11

最⼤垂直负载

2 N

12

保持⼒

5 N

传感精度

13

位置传感类型

- 电阻型传感( .R )

14

位置传感量程

8 mm

15

位置传感分辨率

~ 150 nm