.HV  ⾼真空版本，默认产品;

.ULT 超低温版本, 兼容氦-3制冷系统 & 稀释制冷机

.UHV 超⾼真空版本, 最⾼兼容 2E-11 mbar

1     三维尺⼨

16 × 16 mm × 16 mm

2    质量

12 g

适⽤环境范围

3    基础

温度范围: 1.4 ~ 400 K 最di真空度: 2e-7 mbar 最⼤磁场: 18 Tesla

4    可选1 - 30 mK

✓

✓

5    可选2 - 2e-11 mbar

✓

✓

材质

6    主体

Pure Ti

BeCu

Pure Ti

BeCu

7    线缆

磷⻘铜双绞线，20cm

8    针脚材质

聚酯材料（玻璃纤维填充）, BeCu

Peek, BeCu

9    针脚数量

驱动 - 2 pins, 传感 - 3 pins

运动参数

10   ⾏程

3 mm

11   最⼤运动速度 @300 K

~ 2 mm/s

12   驱动电压

Max. 200 V

13   最⼤负载

250 g

14   最⼤推⼒

3 N

传感器（闭环）

15   位置传感器

、

16   传感器⾏程

3 mm

17   传感器分辨率

~ 150 nm

18   重复定位精度

1 - 2 um