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MiniTest1100+N02探头测量铝基氧化膜厚度

时间：2014-11-19      阅读：107

上海鼎徵仪器仪表设备有限公司代理德国EPK涂层测厚仪

谢文清  

测量物体
铝基氧化膜
试块材质
铝板、铝板氧化膜
使用仪器
Minitest2100 + N02探头
测试状况
一测试内容
   <1> 对基体样板进行校准，并测量基体，检测校准结果
   <2> 对2号样板ABCD四点测量，每个区域记录30个测量值；无标记面取10点，记录30个数值。
<3> 对4号样板ABCD四点测量，每个区域记录30个测量值；无标记面取10点，记录30个数值
<4> 数据整理分析
 
二测试过程
◆如下图所示，对基体样板进行校准，正面取ABCDE五点，定点测量，检测校准结果
 
            
 
             对基体反面不定点取10点，测量，检测校准结果
               
 
◆   如下图所示，对2号样板ABCD四点测量，每个区域记录30个测量值
 
            
             对2号样板反面不定点取10点，记录30个测量值
                
 
◆   如下图所示，对4号样板ABCD四点测量，每个区域记录30个测量值
             
对4号样板反面不定点取10点，记录30个测量值
 
 
 
    
三数据统计
<1>  对基体校准完毕后，测量基体定点ABCDE五点及发面随机抽取10点数据统计
 
点数
A
B
C
D
E
反面随机测量
1
0.0
-0.1
-0.1
0.1
-0.2
-0.4
2
0.2
-0.2
0.0
0.0
0.0
-0.3
3
-0.3
0.1
-0.1
-0.2
-0.1
0.0
4
-0.4
0.0
0.2
-0.1
0.1
0.1
5
-0.1
0.1
0.2
0.0
0.0
0.0
6
-0.4
0.2
-0.2
0.2
0.2
-0.1
7
0.0
-0.2
0.0
0.1
0.0
-0.2
8
-0.3
0.0
0.1
-0.2
0.1
0.0
9
-0.2
-0.2
0.2
0.1
0.1
-0.2
10
0.0
-0.3
-0.1
0.0
-0.4
-0.1
 
<2> 对2号样板ABCD四点测量，每个区域记录30个测量值；无标记面取10点，记录30个数值
点数
A
B
C
D
反面随机测量
1
2.9
3.3
3.0
3.0
2.8
2
3.0
3.0
2.6
2.5
2.6
3
2.8
3.0
2.5
2.4
2.7
4
2.9
3.1
2.7
3.2
2.6
5
2..9
2.7
2.9
2.6
2.6
6
2.7
3.0
3.1
2.6
2.6
7
3.2
3.1
3.1
2.8
2.9
8
2.9
2.9
2.9
2.8
2.7
9
3.2
3.0
3.3
2.7
2.6
10
2.7
2.8
2.6
3.0
3.2
11
2.9
3.1
2.8
3.1
2.9
12
3.1
3.1
2.6
2.9
2.9
13
2.8
2.9
2.6
2.6
2.6
14
2.9
3.0
3.2
2.8
2.6
15
3.0
3.0
2.8
2.9
2.4
16
3.0
2.8
2.9
3.0
2.5
17
2.7
2.9
3.0
3.0
2.6
18
2.8
2.9
2.7
2.8
3.0
19
3.0
3.0
2.9
3.1
2.6
20
3.0
3.1
2.8
2.9
2.9
21
2.9
2.9
2.7
2.9
2.8
22
2.7
2.8
3.0
2.8
2.7
23
2.8
2.7
3.1
3.1
2.8
24
2.9
2.9
2.8
3.0
2.9
25
3.1
2.8
2.9
2.9
3.0
26
3.0
2.8
3.0
2.7
2.7
27
3.1
3.0
2.7
3.1
3.1
28
2.8
3.1
2.6
3.0
2.8
29
3.0
3.2
2.7
2.8
2.7
30
3.1
3.0
2.9
2.9
2.8
 
 
<3> 对4号样板ABCD四点测量，每个区域记录30个测量值；无标记面取10点，记录30个数值
 
点数
A
B
C
D
反面随机测量
1
2.9
3.0
3.1
3.3
2.9
2
2.8
2.8
3.1
2.9
3.0
3
2.7
2.6
2.7
3.2
2.7
4
2.8
2.7
3.1
2.7
3.1
5
3.0
3.0
3.2
3.0
3.3
6
3.3
2.4
3.0
2.6
3.2
7
2.8
2.5
2.8
2.9
2.3
8
2.7
3.1
2.7
2.8
3.2
9
3.1
2.8
2.9
2.6
3.1
10
3.0
2.6
3.2
2.5
2.6
11
3.2
3.2
3.1
2.9
3.1
12
2.8
3.1
2.9
3.0
2.8
13
2.8
3.0
2.8
3.1
2.6
14
3.0
3.0
3.1
2.8
2.7
15
3.2
3.0
3.2
2.6
2.6
16
3.0
3.0
2.9
3.0
3.1
17
3.1
2.9
3.1
3.1
2.9
18
2.9
3.2
2.7
2.9
3.5
19
3.0
2.6
2.8
2.8
2.8
20
2.6
2.8
2.9
3.2
2.7
21
2.9
3.1
3.0
2.9
2.8
22
3.0
3.3
3.3
3.0
3.1
23
3.1
2.6
2.8
2.7
2.6
24
2.9
2.9
3.0
2.8
3.1
25
2.8
3.1
3.2
2.8
2.8
26
3.0
2.8
3.1
2.9
3.1
27
3.1
2.7
3.0
3.0
3.1
28
3.2
3.0
2.9
3.1
3.0
29
2.9
2.9
3.1
2.9
2.8
30
2.7
3.0
3.2
2.8
2.7
 
               
 
四、结论
 
<1> 对基体进行调零校准，测试零板 测量值波动范围 { -0.4 – 0.2 }
<2> 对2号样板铝基氧化膜进行测量测量值波动范围   { 2.4 – 3.3 }
<3> 对4号样板铝基氧化膜进行测量测量值波动范围   { 2.6 – 3.3 }
 
综述，1零点校准情况下，在现有的基体粗糙度影响及操作手动误差情况下基本达到调零效果
       2 对2号样板测量，除去个别偏差过大数值，基本体现了氧化膜的真实厚度值
       3 对2号样板测量，除去个别偏差过大数值，基本体现了氧化膜的真实厚度值
     
                
如果想进一步排除操作工手动误差，稳定测量数值，建议采购固定支架
                  
 
业务员
谢文清
技术员
谢文清   2013-3-14
检测公司
上海鼎徵仪器仪表设备有限公司 

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