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SG-6351硅片检测显微镜(研究级)
一、产品用途
SG-6351硅片检测显微镜,仪器采用了反射和透射两种照明形式,并配有偏光装置。在反射光照明下可进行明暗场和偏光观察,又可在透射光照明下作明场观察。本仪器配备摄影装置与显微镜相连接拍摄照片等。仪器造型新颖、性能良好、使用方便可靠,可供工厂、高等院校、科研机构及电子工业部门作金相、矿相、晶体、微电子等方面的试验与分析研究之用。
二、产品特点
1. 稳定、高品质的光学系统使成像更清晰,衬度更好。
2. WF10X(Φ22)大视野目镜,无限远系统金相物镜。
3. 仪器采用了反射和透射两种照明形式,并配有偏光装置。
4. 在反射光照明下可进行明暗场和偏光观察,又可在透射光照明下作明暗场观察。
5. 显微镜配置了成像系统可实现在计算机上显示图像并保存图片,图像可进行各种处理、编辑、保存和输出 (如打印等) 或进入多媒体系统及电子信箱。
三、技术规格
1. 光学系统:无限远光学校正系统
2. 大视野目镜:WF10X/22mm
3. 平场无限远长工作距离明暗场物镜
放大倍数 | 数值孔径N.A | 工作距离(mm) |
L L5× | 0.10 | 29.4 |
PL L10× | 0.25 | 16.0 |
PL L20× | 0.40 | 10.6 |
PL L50× | 0.55 | 5.10 |
PL L100X(干) | 0.80 | 3.01 |
4. 显微镜总放大倍率:50×-1000×
5. 转换器:带DIC插孔五孔转换器
6. 双层移动平台,尺寸:190×160mm,移动范围80×50mm
7. 调焦粗、微动同轴调焦,采用齿轮齿条传动机构,微动格值0.002 mm
8. 照明光源:
① 透射照明:卤素灯12V50W, AC85V-230V,亮度可调节
② 落射照明:带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V50W,AC85V-230V,亮度可调节
9. 适配镜:直径59mm,放大倍率0.5倍 ,内调焦距0~3mm 调焦后可锁紧
10. 图像采用Sony COMS传感器,像素630万;芯片靶面:1/1.8";像素:2.4x2.4(μm);图像采集速度:15@3072×2048,26@1536×1024;G光灵敏度:0.15mv-425mv;曝光时间: 0.244ms-2s;光谱响应范围:380-650nm(有红外截止滤光片情况下);扫描方式:逐行扫描;快门:电子快门;数据接口:USB3.0;白平衡:ROI 白平衡/手动调整。
11. 软件功能:图像显示、图像拍摄、录像和图象处理功能,可以对所摄图像进行文字编辑,比例尺显示;超景深扩展;长度,角度,弧长测量;点,线,平行线,垂直测量;园、椭圆测量;矩形,不规则形状的周长、面积、重心位置等几何参数测量。
四、标准配置
1. 正置金相显微镜/1台
2. 三目观察镜筒/1只(在主机上)
3. 大视野目镜10× /1对
4. 无限远金相物镜5×、10×、20×、50×、100×.干/各1只
5. 0.5×专用适配镜/1只
6. YH-630显微镜工业相机/1只
7. 0.01mm校准尺/1块
8. 玻璃载物片/1片
9. 备用卤素灯泡/2只
10. 产品合格证、保修卡及说明书/1份